پروڈکٹ کا جائزہ
انڈسٹریل کیتھوڈک آرک ایواپوریشن سسٹم ایک پروڈکشن-گریڈ فزیکل ویپر ڈیپوزیشن (PVD) پلیٹ فارم ہے جو لباس-مزاحم، سنکنرن-مزاحم، اور کم-رگڑ سخت کوٹنگز کو جمع کرنے کے لیے بنایا گیا ہے۔ کم-وولٹیج، ہائی-موجودہ الیکٹریکل آرکس کو استعمال کرنے سے، ٹھوس کیتھوڈ اہداف کو کیتھوڈ جگہ پر فوری طور پر بخارات اور آئنائز کیا جاتا ہے، جس سے انتہائی آئنائزڈ دھاتی پلازما پیدا ہوتا ہے۔
ISO 9001 کوالٹی مینجمنٹ کے معیارات اور CE تعمیل کی ہدایات کے تحت ڈیزائن اور تیار کیا گیا، یہ سسٹم ٹول مینوفیکچرنگ، آٹوموٹیو پرزوں اور صنعتی ہارڈویئر سیکٹرز میں اعلی-تھرو پٹ کوٹنگ آپریشنز کے لیے ترتیب دیا گیا ہے۔ معیاری کنفیگریشنز ملٹی-کیتھوڈ لے آؤٹس کو آزاد مقناطیسی-فیلڈ اسٹیئرنگ، قابل پروگرام ڈی سی/پلسڈ بائیس پاور سپلائیز، اور خودکار ویکیوم کنٹرول کو مسلسل فلم اسٹوچیومیٹری اور گھنے مائکرو اسٹرکچرز کو برقرار رکھنے کے لیے مربوط کرتی ہیں۔
-
![آرک ایواپوریشن پتلا فلم سسٹم]()
آرک ایواپوریشن پتلا فلم سسٹمصنعتی کیتھوڈک آرک ایوپوریشن تھن فلم سسٹم کو گھنے، مضبوطی سے منسلک دھاتی، کھوٹ، اور سیرامک کمپاؤنڈ کوٹنگز کے اعلی- ریٹ جمع کرنے کے لیے بنایا گیا ہے۔ ٹھوس کیتھوڈ اہداف پر کم-وولٹیج، زیادہ-موجودہ...مزید دیکھیں -
![آرک ایوپوریشن پی وی ڈی کا سامان]()
آرک ایوپوریشن پی وی ڈی کا سامانصنعتی کیتھوڈک آرک ایوپوریشن PVD سسٹم ویکیوم ماحول میں ٹھوس کیتھوڈ اہداف کو بخارات بنانے کے لیے کم-وولٹیج، زیادہ-موجودہ الیکٹریکل آرکس کا استعمال کرتا ہے۔ یہ طریقہ کار دھات کی آئنائزیشن کی شرح 80%...مزید دیکھیں -
![ویکیوم آرک پتلا فلم سسٹم]()
ویکیوم آرک پتلا فلم سسٹمصنعتی ویکیوم آرک تھن فلم سسٹم کیتھوڈک آرک بخارات کا استعمال گھنے، انتہائی قابل عمل دھاتی، مصر دات، اور سیرامک پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے کرتا ہے۔ ایک اعلی-موجودہ، کم-وولٹیج آرک ٹھوس کیتھوڈ...مزید دیکھیں -
![کیتھوڈک آرک پتلی فلم کا سامان]()
کیتھوڈک آرک پتلی فلم کا سامانٹھوس کیتھوڈ اہداف کو مکمل طور پر آئنائزڈ پلازما میں بخارات بنانے کے لیے مقامی کم-وولٹیج، ہائی-موجودہ الیکٹریکل آرکس کا استعمال کرتے ہوئے جسمانی بخارات جمع کرنے کا نظام (PVD)۔ ہائی آئنائزیشن کی شرح...مزید دیکھیں -
![آرک بخارات جمع کرنے کا سامان]()
آرک بخارات جمع کرنے کا سامانصنعتی فزیکل ویپر ڈیپوزیشن (PVD) پلیٹ فارم گھنے، پہننے والی-مزاحم، اور فعال سخت کوٹنگز کی اعلی-ریٹ ترکیب کے لیے بنایا گیا ہے۔ ٹھوس ہدف کی سطحوں پر اعلی-موجودہ، کم-وولٹیج کیتھوڈک آرک ڈسچارج کو...مزید دیکھیں -
![آرک ایوپوریشن پتلی فلم کا سامان]()
آرک ایوپوریشن پتلی فلم کا سامانیہ کیتھوڈک آرک بخارات کا نظام کم-وولٹیج، زیادہ-موجودہ برقی قوس کے ذریعے ٹھوس کیتھوڈ اہداف کو مکمل طور پر آئنائزڈ دھاتی پلازما تیار کرتا ہے۔ معیاری تھرمل بخارات یا میگنیٹران سپٹرنگ کے مقابلے میں،...مزید دیکھیں
تکنیکی وضاحتیں
|
پیرامیٹر |
تفصیلات کی حد / معیاری ترتیب |
|
چیمبر کے طول و عرض |
قطر: 800 ملی میٹر - 1800 ملی میٹر (اپنی مرضی کے مطابق عمودی/افقی ترتیب) |
|
چیمبر کا مواد |
اندرونی پانی-کولنگ چینلز کے ساتھ ڈبل-دیواروں والا SUS304 سٹینلیس سٹیل |
|
حتمی ویکیوم پریشر |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups) |
|
کیتھوڈ کنفیگریشن |
برقی مقناطیسی اسٹیئرنگ کے ساتھ 4 سے 12 مستطیل/سرکلر آرک ذرائع |
|
آرک پاور سپلائی |
300A - 500ایک سایڈست مستقل کرنٹ، لہر<= 2% |
|
سبسٹریٹ بائیس پاور |
0 سے -1000V سایڈست، پلسڈ بائیس فریکوئنسی 10 kHz - 100 kHz |
|
حرارتی نظام |
ریڈینٹ ہیٹر سرنی، زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت 600 ڈگری +/- 5 ڈگری یکسانیت |
|
ورک پیس کی گردش |
سیاروں یا دوہری- محور کی گردش مقناطیسی سیال فیڈ تھرو سے چلتی ہے |
|
کنٹرول سسٹم |
PLC + صنعتی PC، نسخہ-سے چلنے والا خودکار ترتیب کنٹرول |
|
افادیت کے تقاضے |
ٹھنڈا پانی: 0.25-0.35 MPa، 20-25 ڈگری؛ پاور: 380V/480V، 3 فیز، 50/60 ہرٹج |
آرک بخارات کا عمل
فلم کی سالمیت اور انٹرفیس کے چپکنے کی ضمانت دینے کے لیے جمع کرنے کا سائیکل سخت طریقہ کار کے کنٹرول کے تحت چلتا ہے:
انخلاء اور باہر گیس:
ویکیوم چیمبر کو بیس پریشر تک نیچے پمپ کیا جاتا ہے۔ سطح کے اتار چڑھاؤ اور بقایا نمی کو ختم کرنے کے لیے سبسٹریٹس کو ویکیوم کے نیچے گرم کیا جاتا ہے۔
01
پلازما اینچنگ (صفائی):
دھاتی آئن کی بمباری (ٹائٹینیم یا کرومیم کے ہدف کے ذرائع کا استعمال کرتے ہوئے) ایٹمی سطح پر سبسٹریٹ کی سطح کو صاف کرتی ہے، مقامی آکسائیڈ کو ہٹاتی ہے اور انٹرفیس کو چالو کرتی ہے۔
02
رد عمل جمع:
ری ایکٹیو گیسوں (N2, CH4, O2) کو ماس فلو کنٹرولرز (MFCs) کے ذریعے چیمبر میں داخل کیا جاتا ہے تاکہ دھاتی پلازما بہاؤ (مثال کے طور پر، Ti، Cr، AlTi) کے ساتھ رد عمل کا اظہار کیا جا سکے، جس سے مرکب فلمیں جیسے TiN، TiAlN، یا CrN بنتی ہیں۔
03
کولنگ اور وینٹنگ:
پوسٹ-ڈیپوزیشن کولنگ چیمبر وینٹنگ اور جزوی بازیافت سے پہلے حفاظتی غیر فعال گیس کے ماحول میں ہوتی ہے۔
04
تائید شدہ کیتھوڈ اہداف
ٹائٹینیم (Ti) اور ٹائٹینیم ایلومینیم (TiAl):معیاری TiN اور اعلی-آکسیڈیشن-مزاحمت والے TiAlN کوٹنگز کے لیے بنیادی مواد (900 ڈگری تک آکسیڈیشن کے باوجود)۔
کرومیم (کروڑ):آرائشی تکمیل اور سنکنرن- مزاحم CrN/CrC تہوں کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔
زرکونیم (Zr) اور ٹائٹینیم سلیکون (TiSi):خصوصی آرائشی اور انتہائی پہننے والی- مزاحم نینو کمپوزائٹ فلموں کے لیے لاگو کیا جاتا ہے۔
ہم آہنگ سبسٹریٹ مواد
ہائی-اسپیڈ اسٹیل (HSS):ٹوئسٹ ڈرلز، اینڈ ملز، ہوبس اور بروچز۔
سیمنٹڈ کاربائیڈز (WC-Co):انڈیکس ایبل انسرٹس، ریمر، اور فارمنگ ڈیز۔
انجینئرنگ اسٹیل اور مرکب دھاتیں:آٹوموٹو والو کے اجزاء، گیئرز، سٹینلیس سٹیل سینیٹری ہارڈویئر، اور ٹائٹینیم میڈیکل امپلانٹس۔
ایپلی کیشنز اور کارکردگی کا اثر
دھاتی کاٹنے کے اوزار:
کاربائیڈ انسرٹس اور اینڈ ملز پر TiAlN اور AlCrN کوٹنگز جمع کرنا، ٹول کی عمر 200% سے 300% تک بڑھانا اور خشک ہائی-مشیننگ کو فعال کرنا۔
فارمنگ اور سٹیمپنگ ڈیز:
گہری ڈرائنگ کے دوران چپکنے والے لباس، گیلنگ، اور ورک پیس کے چپکنے کو کم کرنے کے لیے گھنے، کم-رگڑ کوٹنگز کا اطلاق، ڈاؤن ٹائم کو 40% تک کم کرتا ہے۔
آٹوموٹو پاور ٹرین:
پسٹن کی انگوٹھیوں، فیول انجیکشن پنوں اور ٹیپٹس کا علاج تاکہ باؤنڈری رگڑ کو کم سے کم <0.15 تک کم کیا جا سکے۔
صنعتی ہارڈ ویئر اور سینیٹری ٹونٹی:
سخت آرائشی PVD پرتیں (TiN گولڈ، گلاب گولڈ، بلیک زرکونیم) کم از کم 500 گھنٹے کا غیر جانبدار نمک سپرے ٹیسٹ (ASTM B117) پاس کرتی ہیں۔
حسب ضرورت اور عمل کی ترتیب
سازوسامان کی ترتیب پیداوار کے حجم، حصہ جیومیٹری، اور فیکٹری فوٹ پرنٹ کے مطابق:
چیمبر جیومیٹری:
بھاری ٹولز کے لیے عمودی لوڈنگ ڈھانچے؛ افقی بیچ کنفیگریشنز ہائی-کیپیسٹی فکسچر لوڈنگ کے لیے۔
ماخذ انضمام:
کیتھوڈک آرک ذرائع کو غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ (RMS) کیتھوڈس کے ساتھ ملانے والی ہائبرڈ کنفیگریشنز ہموار، قطرہ-مفت ملٹی لیئر آرکیٹیکچرز کو جمع کرنے کے لیے۔
فلٹریشن سسٹمز:
کیتھوڈ چینلز پر اختیاری مقناطیسی میکرو پارٹیکل فلٹرز (اسٹیئرڈ آرک فلٹرز) نصب کیے گئے ہیں تاکہ آپٹیکل یا الٹرا-ہموار درست فنکشنل کوٹنگز کے لیے میکرو-ڈروپلیٹس کو ختم کیا جا سکے۔
آٹومیشن انٹرفیس:
انٹیگریشن-روبوٹک لوڈنگ آرمز اور آٹومیٹڈ گائیڈڈ وہیکل (AGV) بیچ سٹیجنگ کے لیے تیار ہے۔
ساختی سالمیت:چیمبر باڈیز کی حساسیت کی دہلیز پر ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر لیک ٹیسٹنگ سے گزرنا پڑتا ہے۔<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.
برقی حفاظت اور تعمیل:CE اور IEC الیکٹریکل سیفٹی رہنما خطوط پر سختی سے بنایا گیا ہے، جس میں مکمل موصلیت کی جانچ اور ہنگامی حفاظتی انٹرلاک شامل ہیں۔
فنکشنل رن-آف (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell indentation HF1-HF2) شپمنٹ سے پہلے معیاری ٹیسٹ کوپن پر تصدیق شدہ ہیں۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
سائٹ کی تیاری کا پیکیج:
جامع یوٹیلیٹی لے آؤٹ ڈرائنگ جس میں ٹھنڈے پانی کے بہاؤ کی شرح، ایگزاسٹ وینٹیلیشن، فرش لوڈ کرنے کی گنجائش، اور برقی ڈراپ کی تفصیلات 4 ہفتوں کے بعد فراہم کی گئی ہیں۔
-سائٹ کمیشننگ پر:
فیکٹری-مصدقہ پروسیس انجینئر کلائنٹ کی سہولت پر مکینیکل الائنمنٹ، ویکیوم لیک کا پتہ لگانے، برقی انضمام، اور ابتدائی بیس لائن ریسیپی سیٹ اپ کو سنبھالتے ہیں۔
طریقہ کار کی منتقلی:
ڈیلیوری میں معیاری بیس لائن ترکیبیں (TiN، TiAlN، CrN) اور اندرونی دیکھ بھال اور انجینئرنگ ٹیموں کے لیے آپریشنل ٹریننگ شامل ہے۔
ریموٹ تشخیصی معاونت:
ریموٹ پیرامیٹر ٹربل شوٹنگ اور PLC منطق کی تشخیص کے لیے محفوظ صنعتی راؤٹر گیٹ ویز سے لیس سسٹم۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
ہم چین میں ایک سرکردہ آرک ایوپوریشن پتلی فلم ساز و سامان بنانے والے اور سپلائرز کے طور پر جانے جاتے ہیں۔ اگر آپ چین میں تیار کردہ اپنی مرضی کے مطابق آرک وانپیکرن پتلی فلم کا سامان خریدنے جا رہے ہیں، تو ہماری فیکٹری سے پرائس لسٹ حاصل کرنے میں خوش آمدید۔ قیمت سے متعلق مشاورت کے لیے، ہم سے رابطہ کریں۔
