صنعتی کیتھوڈک آرک ایوپوریشن PVD سسٹم ویکیوم ماحول میں ٹھوس کیتھوڈ اہداف کو بخارات بنانے کے لیے کم-وولٹیج، زیادہ-موجودہ الیکٹریکل آرکس کا استعمال کرتا ہے۔ یہ طریقہ کار دھات کی آئنائزیشن کی شرح 80% سے زیادہ حاصل کرتا ہے، جس سے تھرمل بخارات یا معیاری میگنیٹران سپٹرنگ کے مقابلے اعلی کیمیائی بانڈنگ کی طاقت اور سبسٹریٹ چپکنے کو یقینی بنایا جاتا ہے۔
مسلسل ملٹی-شفٹ پروڈکشن کے لیے انجنیئر کیا گیا، یہ نظام ایک ہیوی{-گیج سٹینلیس سٹیل ویکیوم چیمبر، ماڈیولر کیتھوڈ اسٹیئرنگ اسمبلیوں، اور PLC-کی بنیاد پر خودکار پروسیس کنٹرول فن تعمیر کو مربوط کرتا ہے۔
تکنیکی وضاحتیں
|
تکنیکی پیرامیٹر |
تفصیلات کی حد / قدر |
|
چیمبر کے طول و عرض |
حسب ضرورت ترتیب: Phi 800 mm x 1000 mm سے Phi 2000 mm x 2200 mm |
|
چیمبر کا مواد |
ڈبل-دیوار والی SUS304 یا SUS316L سٹینلیس سٹیل، پانی-ٹھنڈی جیکٹ |
|
حتمی ویکیوم پریشر |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (after bakeout and outgassing) |
|
پمپنگ سسٹم سیٹ اپ |
روٹری وین روفنگ پمپ + روٹس بلوئر + ٹربو-مالیکیولر / ڈفیوژن پمپ |
|
آرک پاور سپلائی |
ایڈجسٹ ایبل ڈی سی آرک کرنٹ: 0 - 200 فی چینل؛ اگنیشن وولٹیج: 380 V |
|
سبسٹریٹ بائیس پاور |
نبض شدہ DC تعصب: 0 - -1000 V، تعدد 10 - 100 kHz |
|
کیتھوڈ ذرائع |
4 - 12 مقناطیسی-قید سرکلر یا مستطیل قوس کے ذرائع |
|
سبسٹریٹ گردش |
سیاروں یا دوہرے-محور کی گردش ہائی-ٹارک مقناطیسی سیال فیڈ تھرو سے چلتی ہے |
|
آپریٹنگ درجہ حرارت |
PID-کنٹرولڈ ریڈیئنٹ ہیٹر کے ساتھ 600 ڈگری سینٹی گریڈ تک محیط |
|
کنٹرول سسٹم |
Siemens S7-1500 PLC + صنعتی PC چلانے والا SCADA سافٹ ویئر |
کلیدی خصوصیات
اعلی آئنائزیشن کی کارکردگی:براہ راست کیتھوڈ بخارات اعتدال پسند درجہ حرارت پر گھنے، خرابی-کنٹرول پتلی-فلم کی ترقی کے لئے مکمل طور پر آئنائزڈ دھاتی پلازما پیدا کرتا ہے۔
مقناطیسی فلٹرڈ آرک آپشن:انٹیگریٹڈ الیکٹرو میگنیٹک اسٹیئرنگ کوائلز درست ٹولنگ کے لیے ہموار کوٹنگ فنش فراہم کرنے کے لیے میکرو پارٹیکل (ڈراپلیٹ) کے اخراج کو کم سے کم کرتے ہیں۔
کثیر-پرت / گریڈینٹ جمع:ہم وقت ساز ملٹی-کیتھوڈ آپریشن درجہ بندی کی منتقلی پرتوں کی ترکیب کو قابل بناتا ہے (جیسے، Ti/TiN/TiAlN) خلا کو توڑے بغیر۔
بند-لوپ پروسیس کنٹرول:حقیقی-ٹائم فیڈ بیک لوپس ری ایکٹیو گیس کے بہاؤ (نائٹروجن، ایسٹیلین، آکسیجن) کو ہائی-پریزیشن ماس فلو کنٹرولرز (MFCs) کے ذریعے کنٹرول کرتے ہیں تاکہ ہدف کے جزوی دباؤ کو برقرار رکھا جا سکے۔
ویکیوم سسٹم کنفیگریشن
پمپنگ اسٹیک:پرائمری روفنگ دوہری-اسٹیج روٹری وین پمپس کا استعمال کرتی ہے جس کی پشت پناہی روٹس بلورز کرتی ہے۔ ہائی-ویکیوم حاصل کرنا ہائی-تھرو پٹ ڈفیوژن پمپس یا ٹربو مالیکولر پمپ پر انحصار کرتا ہے۔
والوز اور پائپنگ:نیومیٹک اینگل والوز اور الیکٹرو نیومیٹک گیٹ والوز چیمبر زونز کو خود بخود الگ کر دیتے ہیں۔ مینی فولڈز آئی ایس او/کے ایف اور سی ایف فلینگڈ سٹینلیس سٹیل کی نلیاں استعمال کرتے ہیں جن میں سلور-پلیٹیڈ تانبے کی مہریں یا وٹون او-رنگ ہوتے ہیں۔
رساو کا پتہ لگانا:انٹیگریٹڈ ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر ٹیسٹ پورٹس 10^-10 Pa*m^3/s تک تشخیص کو قابل بناتے ہیں۔
بخارات کا مواد اور سبسٹریٹ مطابقت
ہم آہنگ کیتھوڈ مواد
خالص دھاتیں:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl مرکب (مثال کے طور پر، 50/50 یا 33/67 جوہری تناسب)۔
مرکب اہداف:TiC، CrC، WC۔
سبسٹریٹ مطابقت
ٹول اسٹیل:ہائی-اسپیڈ اسٹیلز (M2, H13) اور سیمنٹڈ کاربائیڈز (WC-Co inserts)۔
ساختی مرکب:سٹینلیس سٹیل، ٹائٹینیم الائیز (TC4)، اور نکل-بیسڈ سپر ایلوائیز۔
انجینئرنگ سیرامکس:سلیکون نائٹرائڈ اور ایلومینا کنڈکٹیو پری-علاج کے ساتھ۔
ایپلی کیشنز اور تصدیق شدہ پرفارمنس میٹرکس
کاٹنے اور بنانے کے اوزار:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 HV اور توسیع شدہ ٹول وئیر لائف 200% - 400%۔
آٹوموٹو اجزاء:پسٹن کی انگوٹھیوں، ٹیپیٹس، اور فیول انجیکٹر سوئیوں پر اینٹی-پہننے والی کوٹنگز۔ اسٹیل کے خلاف رگڑ کے گتانک کو 0.15 - 0.25 تک کم کرتا ہے۔
طبی امپلانٹس: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).
مولڈز اور ڈائز:چپکنے والے لباس کو ختم کرنے اور ورک پیس کی رہائی میں آسانی کے لیے پلاسٹک انجیکشن اور سٹیمپنگ مولڈ پر CrN یا DLC کوٹنگز۔
حسب ضرورت کے اختیارات
چیمبر جیومیٹری:عمودی گڑھا-ٹائپ لوڈنگ یا افقی سامنے-لوڈنگ کنفیگریشنز۔
ماخذ لے آؤٹ:3D ورک پیس جیومیٹریز کے لیے تیار کردہ حسب ضرورت کیتھوڈ پوزیشننگ (مثال کے طور پر، لمبی ایکسٹروشن ڈیز یا ٹربائن بلیڈ)۔
تعصب جنریٹر اپ گریڈ:ہائی-پاور امپلس میگنیٹران سپٹرنگ (HIPIMS) ہائبرڈ ماڈیولز کا انٹیگریشن۔
آٹومیشن انٹیگریشن:کلین روم کے ماحول کے لیے روبوٹک لوڈنگ انٹرفیس اور خودکار فکسچر ٹرانسفر ریلز۔
کوالٹی کنٹرول اور فیکٹری ٹیسٹنگ
فیکٹری ایکسیپٹنس ٹیسٹنگ (FAT) سے پہلے، سسٹمز سے گزرنا پڑتا ہے:
ویکیوم لیک ٹیسٹنگ:تمام ویلڈز اور سیل پر ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر کی تصدیق۔
برقی حفاظت کی توثیق:موصلیت کی مزاحمت، زمینی تسلسل، اور CE/UL معیارات کے مطابق انٹر لاک لاجک چیک۔
فنکشنل برن-میں:روٹیشن ڈرائیوز، فلو سوئچز، اور PLC کمیونیکیشن کا 72-گھنٹہ مسلسل ڈرائی رن ٹیسٹ۔
کوٹنگ ٹیسٹ رن:نمونہ جمع کرنے کی تصدیق بال-کریٹر فلم کی موٹائی کی پیمائش اور راک ویل انڈینٹیشن سکریچ ٹیسٹنگ کے ذریعے ہوئی۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
سائٹ کی تیاری:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 m^3/h، 20 - 25 ڈگری C)، کمپریسڈ ہوا، وینٹیلیشن، اور برقی قطرے (380V/480V، 3-فیز، 50/60 Hz)۔
کمیشننگ:سینئر پروسیس انجینئرز کے ذریعہ سائٹ کی تنصیب، ویکیوم کیلیبریشن، اور ترکیب کی اصلاح پر-۔
آپریٹر کی تربیت:معمول کی دیکھ بھال، ہدف کی تبدیلی، اور SCADA آپریشن کا احاطہ کرنے والی ہدایات پر ہاتھ-۔
سیلز سپورٹ کے بعد{{0}:محفوظ صنعتی VPN کے ذریعے ریموٹ تشخیصی رسائی؛ 24 گھنٹے کے اندر تکنیکی جواب کی ضمانت دی جاتی ہے۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
سوال: کیتھوڈ ٹارگٹ کی تبدیلی کے لیے عام تبدیلی کا وقت کیا ہے؟
A: فوری-ریلیز مکینیکل کلیمپنگ فلینجز آپریٹر کو داخلی چیمبر شیلڈنگ کو ختم کیے بغیر فی ماخذ 30 - 45 منٹ کے اندر خرچ شدہ اہداف کو تبدیل کرنے کی اجازت دیتے ہیں۔
سوال: کیا کنٹرول سسٹم ایک سے زیادہ ریسیپی پروفائلز کو اسٹور کر سکتا ہے؟
A: ہاں۔ سیمنز انڈسٹریل پی ایل سی 100 الگ الگ ترکیبیں، ٹریکنگ کی صفائی کے تعصب، حرارت کا دورانیہ، ری ایکٹیو گیس ریمپ، آرک کرنٹ لیولز، اور جمع کرنے کا وقت ذخیرہ کرتا ہے۔
س: سائٹ پر کون سا یوٹیلیٹی انفراسٹرکچر فراہم کیا جانا چاہیے؟
A: سہولیات کے لیے بند-لوپ ٹھنڈا پانی کا نظام، نیومیٹک والوز کے لیے کمپریسڈ ہوا (0.6 - 0.8 MPa)، کل مربوط لوڈ سے مماثل مستحکم 3 فیز انڈسٹریل پاور فیڈز، اور مقامی ایگزاسٹ نکالنے والی لائنوں کی ضرورت ہوتی ہے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: آرک بخارات پی وی ڈی کا سامان، چین آرک بخارات پی وی ڈی کا سامان مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری

