پروڈکٹ کا جائزہ
PVD جامع پتلی فلم کا سامان ایک صنعتی ویکیوم جمع کرنے والا پلیٹ فارم ہے جو ملٹی-پرت، الائے، اور نینو کمپوزٹ پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے بنایا گیا ہے۔ ایک ویکیوم چیمبر کے اندر میگنیٹران سپٹرنگ اور کیتھوڈک آرک ذرائع کو یکجا کرتے ہوئے، یہ نظام فلم کے مائیکرو اسٹرکچر، بقایا تناؤ، اور انٹرفیشل آسنجن پر قطعی کنٹرول کے قابل بناتا ہے۔ مسلسل پیداوار اور جدید R&D کے لیے بنایا گیا، پلیٹ فارم دھاتی، سیرامک، اور پولیمر سبسٹریٹس کو توسیع پذیر چیمبر جیومیٹریز کے ساتھ ایڈجسٹ کرتا ہے۔
-
![PVD جامع ویکیوم جمع کرنے کا سامان]()
PVD جامع ویکیوم جمع کرنے کا سامانیہ صنعتی PVD جامع ویکیوم جمع کرنے والا پلیٹ فارم یکساں، کثیر-پرت دھاتی، الائے، یا ڈائی الیکٹرک پتلی فلموں کو جمع کرنے کے لیے ایک ہی چیمبر کے ماحول میں متعدد جمع کرنے کی تکنیکوں کو ضم کرتا ہے۔...مزید دیکھیں -
![پی وی ڈی ہائبرڈ پتلی فلم جمع کرنے کا نظام]()
پی وی ڈی ہائبرڈ پتلی فلم جمع کرنے کا نظامPVD ہائبرڈ پتلا فلم جمع کرنے کا نظام تھرمل بخارات، الیکٹران بیم (ای-بیم) بخارات، اور RF/DC میگنیٹران اسپٹرنگ کو ایک ویکیوم فن تعمیر میں مربوط کرتا ہے۔ یہ پلیٹ فارم دھاتوں، مرکب دھاتوں، اور ڈائی...مزید دیکھیں -
![پی وی ڈی ملٹی-پتلی فلم کے آلات پر کارروائی کریں۔]()
پی وی ڈی ملٹی-پتلی فلم کے آلات پر کارروائی کریں۔PVD ملٹی-Process Thin Film Equipment ایک انٹیگریٹڈ ویکیوم ڈیپوزیشن پلیٹ فارم ہے جو متعدد پتلی-فلم فیبریکیشن تکنیکوں کو یکجا کرنے کے لیے بنایا گیا ہے—بشمول RF/DC میگنیٹران اسپٹرنگ، تھرمل...مزید دیکھیں -
![PVD جامع جمع کرنے کا سامان]()
PVD جامع جمع کرنے کا سامانصنعتی PVD کمپوزٹ ڈیپوزیشن کا سامان ملٹی-جزو، ملٹی-پرت، اور نینو-کمپوزٹ پتلی-فلم فیبریکیشن کے لیے بنایا گیا ہے۔ یہ نظام تھرمل بخارات، ای-بیم کے بخارات، اور ایک ویکیوم ماحول کے اندر میگنیٹران پھٹنے...مزید دیکھیں -
![پی وی ڈی کمپوزٹ پتلا فلم سسٹم]()
پی وی ڈی کمپوزٹ پتلا فلم سسٹمصنعتی-گریڈ ویکیوم کوٹنگ سسٹم جو میگنیٹران سپٹرنگ (RF/DC/HiPIMS) اور کیتھوڈک آرک بخارات کو مربوط کرتا ہے۔ پروڈکشن پیمانے پر مسلسل، کثیر-پرت، کھوٹ، اور نینو-کمپوزٹ پتلی-فلم جمع کرنے کے لیے ڈیزائن...مزید دیکھیں -
![پی وی ڈی جامع پتلی فلم کا سامان]()
پی وی ڈی جامع پتلی فلم کا سامانPVD جامع پتلی فلم کا سامان ایک صنعتی ویکیوم پلیٹ فارم ہے جسے ملٹی-پرت، کھوٹ، اور درجہ بندی والی پتلی فلموں کی ترکیب کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ایک ماڈیولر 304L/316L سٹینلیس سٹیل کے فن تعمیر پر...مزید دیکھیں
تکنیکی وضاحتیں
|
پیرامیٹر |
تفصیلات کی حد |
|
حتمی ویکیوم پریشر |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
ورکنگ پریشر |
0.1 پا - 5.0 پا |
|
سبسٹریٹ درجہ حرارت |
800 ڈگری تک محیط (بند-لوپ PID کنٹرول شدہ) |
|
جمع کرنے کے ذرائع |
قابل ترتیب: DC/RF میگنیٹران سپٹرنگ، پلسڈ ڈی سی، فلٹر شدہ کیتھوڈک آرک |
|
موٹائی کی یکسانیت |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
چیمبر کا مواد |
304L/316L سٹینلیس سٹیل، مکینیکل گراؤنڈ اور الیکٹرو-پالش (Ra<= 0.4 um) |
|
پاور سپلائی انٹیگریشن |
MF جنریٹرز (10-100 kHz)، RF جنریٹرز (13.56 MHz)، پلسڈ DC تعصب |
|
کنٹرول سسٹم |
صنعتی PLC + IPC خودکار نسخہ پر عمل درآمد، انٹر لاک مانیٹرنگ، اور بیچ ڈیٹا لاگنگ کے ساتھ |
جامع جمع کرنے کا عمل
یہ نظام ایک ہائبرڈ جسمانی بخارات جمع کرنے والے فن تعمیر کا استعمال کرتا ہے جس میں میگنیٹران سپٹرنگ اور کیتھوڈک آرک ٹیکنالوجیز کو ملایا جاتا ہے۔
کثیر-ذریعہ ہم آہنگی:
ایک سے زیادہ کیتھوڈس کا بیک وقت یا ترتیب وار آپریشن فلم کے اسٹیک میں اچانک یا درجہ بندی کی ساختی تبدیلیوں کی اجازت دیتا ہے۔
آئن اینچنگ پری-صفائی:
RF یا DC پلازما کی صفائی کے مراحل کوٹنگ-سے-سبسٹریٹ آسنجن کو زیادہ سے زیادہ کرنے کے لیے جمع کرنے سے پہلے مقامی آکسائیڈز اور سطح کے آلودگیوں کو ہٹاتے ہیں۔
رد عمل جمع کنٹرول:
بند-لوپ آپٹیکل ایمیشن اسپیکٹروسکوپی (OES) ری ایکٹیو گیس انجیکشن (O2, N2, C2H2) کو مستحکم کمپاؤنڈ stoichiometry کو برقرار رکھنے اور ہدف کے زہر کو روکنے کے لیے ریگولیٹ کرتا ہے۔
سبسٹریٹ بائیسنگ:
سنکرونائزڈ پلسڈ بائیس پاور سپلائیز بڑھتی ہوئی فلم پر ہائی-انرجی آئنوں کے ساتھ بمباری کرتی ہیں، مائکرو اسٹرکچر کو کثافت کرتی ہیں اور بقایا کمپریسیو تناؤ کو تیار کرتی ہیں۔
فلمی مواد
سازوسامان موزوں فنکشنل تقاضوں کے لیے ٹارگٹ میٹریل کے وسیع اسپیکٹرم کی حمایت کرتا ہے:
ٹرانزیشن میٹل نائٹرائڈز اور کاربائڈز:
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت کے لیے TiN، TiAlN، CrN، ZrN، TiCN۔
نینو کمپوزٹ اور ملٹی لیئر سسٹمز:
TiSiN، AlTiSiN، انتہائی سختی اور اعلی-درجہ حرارت کے تھرمل استحکام کے لیے دھات/سیرامک نانولیئرز۔
شفاف کنڈکٹیو آکسائیڈز (TCO):
آپٹو الیکٹرانک اور فوٹو وولٹک ایپلی کیشنز کے لیے ITO، AZO، IGZO۔
خالص دھاتیں اور مرکب:
Ti, Cr, Al, Cu, Stainless Steel, NiCr برقی رابطہ اور پھیلاؤ کی رکاوٹ کی تہوں کے لیے۔
ایپلی کیشنز
صحت سے متعلق کاٹنے کے اوزار:
کاربائیڈ انسرٹس، ڈرلز، اور اینڈ-ملوں پر انتہائی-سخت، کم-رگڑ کی کوٹنگز (مثلاً، TiAlN) کو زیادہ تھرمل بوجھ کے تحت آپریشنل لائف کو بڑھانے کے لیے جمع کرنا۔
آٹوموٹو اجزاء:
پسٹن رِنگز، فیول انجیکشن پارٹس، اور گیئر اسمبلیوں پر رگڑ-کمی اور پہننے والی-مزاحم فلمیں۔
آپٹو الیکٹرانکس اور ڈسپلے:
ٹچ پینلز اور سولر سیل سبسٹریٹس کے لیے کم-مزاحمت، ہائی-ٹرانسمیشن کنڈکٹیو آکسائیڈ پرتیں۔
طبی آلات:
جراحی کے آلات اور آرتھوپیڈک امپلانٹس پر بایو ہم آہنگ اور پہننے والی مزاحم کوٹنگز-۔
حسب ضرورت اور سسٹم کنفیگریشن
انجینئرنگ کنفیگریشنز کو مخصوص پیداواری سہولت کی رکاوٹوں اور عمل کی ترکیبوں کے مطابق ڈھال لیا گیا ہے:
چیمبر کا سائز:
بیلناکار یا مستطیل چیمبر کے اختیارات R&D بیچ سسٹم (500 ملی میٹر قطر) سے لے کر بڑے-پیمانے پر پیداواری بوجھ-لاک سسٹم (1000 ملی میٹر+) تک۔
01
پمپنگ سویٹ کا انتخاب:
مطلوبہ پمپ-ڈاؤن ٹائمز اور گیس لوڈ پروفائلز کی بنیاد پر جڑوں کے بلورز، ٹربومولیکولر پمپس، اور کرائیوجینک پمپس کا ملاپ۔
02
سبسٹریٹ فکسچرنگ:
اپنی مرضی کے مطابق سیاروں کی گردش کے مراحل، 3-محور سیٹلائٹ کی گردش، یا رول-ٹو رول ماڈیولز جو پیچیدہ 3D جیومیٹریوں یا مسلسل جالوں کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔
03
آٹومیشن کی سطح:
سیمی-خودکار دستی لوڈ کنفیگریشنز یا روبوٹک سبسٹریٹ ہینڈلنگ کے ساتھ مکمل طور پر خودکار ویکیوم ٹرانسفر سسٹم۔
04
مینوفیکچرنگ اور کوالٹی کنٹرول
رساو کا پتہ لگانا:
ہر ویکیوم چیمبر <1 x 10^-10 Pa * m^3 / s کی حد تک ہیلیم ماس اسپیکٹومیٹر لیک ٹیسٹنگ سے گزرتا ہے۔
ویلڈ معائنہ:
ویکیوم-سائیڈ ویلڈز TIG ویلڈڈ، گراؤنڈ اور پالش ہوتے ہیں، جس کے بعد درخواست پر ایکس-رے یا ڈائی پینیٹرینٹ معائنہ کیا جاتا ہے۔
برقی اور حفاظتی تعمیل:
NFPA 79 یا CE/IEC معیارات کے مطابق بنائے گئے کنٹرول پینل، پانی کے بہاؤ، گیس کے دباؤ اور برقی حفاظت کے لیے ہارڈویئر انٹرلاک کو نمایاں کرتے ہیں۔
فیکٹری قبولیت ٹیسٹنگ (FAT):
شپمنٹ سے پہلے کی جانچ میں 72-گھنٹہ مسلسل خشک-دوڑنا سائیکلنگ، ویکیوم کارکردگی کی تصدیق، اور کلائنٹ کی مخصوص ترکیبوں کا استعمال کرتے ہوئے ٹیسٹ کوٹنگ جمع کرنا شامل ہے۔
سائٹ کی تیاری کے رہنما خطوط:جامع سہولت کی ضروریات کی دستاویز میں یوٹیلیٹی انٹرفیس (ٹھنڈا کرنے والے پانی کا بہاؤ/دباؤ، بجلی کا بوجھ، کمپریسڈ ہوا، ایگزاسٹ) کی تفصیل فراہم کی گئی ہے۔
-سائٹ کمیشننگ پر:فیلڈ سروس انجینئرز مکینیکل الائنمنٹ، ویکیوم لیک چیک، الیکٹریکل ٹائی-ان، اور ابتدائی کیلیبریشن انجام دیتے ہیں۔
پروسیس ریسیپی ٹیوننگ:ٹارگٹ فلم کی موٹائی، تناؤ، اور سختی کے پیرامیٹرز کو بند کرنے کے لیے کلائنٹ میٹالرجسٹ اور پروسیس انجینئرز کے ساتھ سائٹ پر-تعاون۔
لائف سائیکل سپورٹ:ریموٹ تشخیصی انٹرفیس، مقامی اسپیئر پارٹس کی انوینٹری، اور طے شدہ احتیاطی دیکھ بھال کے پروگرام۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
ہم چین میں معروف pvd جامع پتلی فلم ساز و سامان بنانے والوں اور سپلائرز میں سے ایک کے طور پر مشہور ہیں۔ اگر آپ چین میں بنائے گئے اپنی مرضی کے مطابق پی وی ڈی جامع پتلی فلم کا سامان خریدنے جا رہے ہیں، تو ہماری فیکٹری سے پرائس لسٹ حاصل کرنے میں خوش آمدید۔ قیمت سے متعلق مشاورت کے لیے، ہم سے رابطہ کریں۔
