پروڈکٹ کا جائزہ
IAE-سیریز آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن تھن فلم کا سامان جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کو حقیقی-وقت کے آئن بیم بمباری کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ تھرمل یا الیکٹران-بیم کے بخارات کے دوران توانائی بخش آئنوں کو سبسٹریٹ پر لے کر، نظام مومینٹم کو کنڈینسنگ ایڈیٹمز میں منتقل کرتا ہے، بڑھتی ہوئی فلم کے مائیکرو اسٹرکچر کی تشکیل نو کرتا ہے۔
یہ حرکی توانائی کی منتقلی کالم کی خالی جگہوں کو ختم کرتی ہے، نمی جذب کو دباتی ہے، اور محیطی نمی کی تبدیلیوں کے خلاف ریفریکٹیو انڈیکس کو مقفل کردیتی ہے۔ آپٹیکل اور سیمی کنڈکٹر پروڈکشن لائنوں میں مسلسل ملٹی-شفٹ آپریشن کے لیے بنایا گیا، یہ پلیٹ فارم اعلی-لیزر آپٹکس سے لے کر سلکان ویفرز تک کے سبسٹریٹس کو ہینڈل کرتا ہے۔
-
![آئن-اسسٹڈ ویکیوم ایواپوریشن کا سامان]()
آئن-اسسٹڈ ویکیوم ایواپوریشن کا سامانآئن-اسسٹڈ ویکیوم ایوپوریشن سسٹم اعلی-ویکیوم تھرمل یا الیکٹران-بیم ایوپوریشن ذرائع کو کاف مین-قسم یا اینڈ-ہال آئن سورس کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے دوران بڑھتی ہوئی فلم کو...مزید دیکھیں -
![آئن-اسسٹڈ پتلی فلم جمع کرنے کا نظام]()
آئن-اسسٹڈ پتلی فلم جمع کرنے کا نظامآئن-اسسٹڈ تھن فلم ڈیپوزیشن سسٹم ملٹی{-پاکٹ الیکٹران-بیم/تھرمل ایوپوریشن کو اعلی-کارکردگی کے اختتام-ہال یا کاف مین-قسم کے آئن سورس کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے دوران،...مزید دیکھیں -
![آئن بیم اسسٹڈ ایواپوریشن کا سامان]()
آئن بیم اسسٹڈ ایواپوریشن کا سامانIBAE نظام الیکٹران-بیم یا تھرمل بخارات کو ایک مربوط وسیع-بیم آئن سورس کے ساتھ جوڑتا ہے۔ فلم کی نشوونما کے دوران بیک وقت آئن کی بمباری حرکی توانائی کو کنڈینسنگ اڈیٹمز میں منتقل کرتی ہے، کالمی...مزید دیکھیں -
![آئن-اسسٹڈ پتلی فلم جمع کرنے کا سامان]()
آئن-اسسٹڈ پتلی فلم جمع کرنے کا سامانIA-سیریز آئن-اسسٹڈ تھن فلم ڈیپوزیشن کا سامان الیکٹران-بیم تھرمل بخارات کو کاف مین یا اینڈ-ہال آئن سورس کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ جمع کرنے کے دوران توانائی بخش آئن بمباری (آرگن/آکسیجن مکس) رفتار کو...مزید دیکھیں -
![آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن تھن فلم سسٹم]()
آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن تھن فلم سسٹمآئن-اسسٹڈ ایواپوریشن (IAE) پتلا فلم سسٹم جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کو توانائی بخش آئن بیم بمباری کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ تھرمل یا الیکٹران-بیم کے بخارات کے دوران، ایک معاون کافمین یا اینڈ-ہال...مزید دیکھیں -
![آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن پتلی فلم کا سامان]()
آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن پتلی فلم کا سامانصنعتی-گریڈ آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن (IAE) سسٹم ملٹی-پاکٹ الیکٹران-بیم کے بخارات کو ایک توانائی بخش آئن بیم سورس (اینڈ-ہال یا کافمین کنفیگریشن) کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ حقیقی-ٹائم آئن بمباری حرکی رفتار...مزید دیکھیں
تکنیکی وضاحتیں
|
پیرامیٹر |
تفصیلات |
|
الٹیمیٹ بیس پریشر |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
بخارات کے ذرائع |
ملٹی-پاکٹ ای-بیم گن (4 × 15cc سے 40cc) اور مزاحمتی تھرمل ذرائع |
|
آئن ماخذ کی قسم |
گرڈ لیس اینڈ-ہال / کاف مین-قسم کا آئن سورس (بیم وولٹیج: 50 - 1500 V، آئن کرنٹ: 0.1 - 3 A) |
|
فلم موٹائی کنٹرول |
کوارٹج کرسٹل مائیکرو بیلنس (QCM) + آپٹیکل مانیٹرنگ سسٹم (OMS)، درستگی ± 0.1 nm |
|
سبسٹریٹ فکسچرنگ |
سیاروں کی گردش کی حقیقت، گنبد کا رداس سبسٹریٹ جیومیٹری کے لیے اپنی مرضی کے مطابق بنایا گیا ہے۔ |
|
سبسٹریٹ ہیٹنگ |
ریڈینٹ ہیٹر سرنی، ± 2 ڈگری PID یکسانیت کے ساتھ 350 ڈگری تک |
|
کنٹرول فن تعمیر |
PLC + صنعتی پی سی، خودکار نسخہ پر عمل درآمد، SECS/GEM کے مطابق ڈیٹا لاگنگ |
آئن-مدد جمع کرنے کا عمل
بخارات کی پیداوار:
مواد کو ای-بیم کروسیبل یا تھرمل بوٹ سے کنٹرول شدہ جمع کرنے کی شرح (0.1 – 2.0 nm/s) پر بخارات بنایا جاتا ہے۔
01
مومینٹم ٹرانسفر:
توانائی بخش آئنز (Ar⁺, O⁺) E-بیم یا تھرمل ماخذ سے آنے والے بخارات کے بہاؤ کے ساتھ ساتھ ساتھ سبسٹریٹ کی سطح پر بمباری کرتے ہیں۔
02
مائیکرو اسٹرکچر میں ترمیم:
آئن کا اثر اڈیٹم کی سطح کی نقل و حرکت کو بڑھاتا ہے، کالم اناج کی نشوونما کو روکتا ہے اور قریب -بلک کثافت (پیکنگ کثافت > 99%) حاصل کرتا ہے۔
03
Stoichiometry درستگی:
ری ایکٹیو آئن اسسٹنس (O₂) دھاتی آکسائیڈ فلموں میں ذیلی-آکسائڈز کے مکمل آکسیکرن کو یقینی بناتا ہے (جیسے، Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂)، UV-NIR سپیکٹرم میں جذب بینڈ کو ختم کرتا ہے۔
04
فلمی مواد
آکسائڈز:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (آپٹیکل فلٹرز کے لیے ہائی ریفریکٹیو انڈیکس استحکام)۔
فلورائیڈز:
MgF₂, LaF₃ (براڈ بینڈ AR کوٹنگز کے لیے کم اضطراری انڈیکس پرتیں)۔
دھاتیں:
Al, Ag, Au, Ti (Adhesion تہوں اور دھاتی ریفلیکٹرز)۔
ایپلی کیشنز
لیزر اور پریسجن آپٹکس:
بینڈ پاس فلٹرز، ڈیکروک آئینے، اور لیزر حفاظتی کوٹنگز کے لیے ہائی لیزر-حوصلہ افزائی نقصان کی حد (LIDT) اور تھرمل تناؤ کے تحت صفر اسپیکٹرل شفٹ کی ضرورت ہوتی ہے۔
LiDAR کور گلاس:
پائیدار اینٹی-ریفلیکٹیو (AR) اور اینٹی-مٹی کی پتلی فلمیں جو سخت بیرونی موسم کے خلاف مزاحم ہیں۔
سیمی کنڈکٹر پیکیجنگ:
نمی-رکاوٹ کی انکیپسولیشن پرتیں اور دھاتی رابطہ پیڈ کم سبسٹریٹ درجہ حرارت پر جمع ہوتے ہیں۔
بایومیڈیکل سینسر:
تشخیصی مائیکرو فلائیڈک چپس کے لیے بائیو کمپیٹیبل آپٹیکل انٹرفیس کوٹنگز۔
حسب ضرورت
چیمبرز اور اندرونی لے آؤٹ مخصوص مینوفیکچرنگ فٹ پرنٹس اور عمل کی ضروریات کے مطابق بنائے گئے ہیں:
چیمبر کے طول و عرض:
R=600 ملی میٹر R&D یونٹس سے R=1200 ملی میٹر ہائی-کیپیسٹی پروڈکشن سسٹمز تک توسیع پذیر۔
پمپنگ پیکجز:
گیس لوڈ کی ضروریات کی بنیاد پر Maglev ٹربومولیکولر پمپس، cryopumps، اور روٹس بلور بیکنگ لائنوں کے ساتھ قابل ترتیب۔
ماخذ انضمام:
دوہری-آئن سورس کنفیگریشنز یا کو-پیچیدہ الائے اور ملٹی-پرت گراڈینٹ فلموں کے لیے جمع سیٹ اپ۔
آٹومیشن کی سطح:
خودکار کلین روم سبسٹریٹ ٹرانسفر سسٹم (ای ایف ای ایم / ویکیوم کلسٹر ٹولز) کے ساتھ انضمام۔
کوالٹی کنٹرول
رساو کا پتہ لگانا:
ہر ویکیوم چیمبر میں ہیلیم لیک-ایک ماس اسپیکٹومیٹر (لیک کی شرح <1.0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s) کا استعمال کرتے ہوئے ٹیسٹ کیا جاتا ہے۔
اجزاء کا سراغ لگانا:
ویکیوم والوز، ماس فلو کنٹرولرز (MFCs)، اور کوالیفائیڈ ٹائر-1 صنعتی برانڈز (MKS، Inficon، VAT) سے حاصل کردہ بجلی کی فراہمی۔
فیکٹری قبولیت ٹیسٹنگ (FAT):
بیس پریشر، پمپنگ وکر، ماخذ کی استحکام، اور شپمنٹ سے پہلے 24-گھنٹے مسلسل خالی چیمبر برداشت کی تصدیق کرنے والے ٹیسٹ-چلائیں۔
میٹرولوجی کی توثیق:
نمونے کی تصدیق اسپیکٹرو فوٹومیٹر (ٹرانسمیٹینس/ریفلیکٹنس) اور اٹامک فورس مائکروسکوپی (سطح کی کھردری Ra <0.5 nm) کے ذریعے ہوتی ہے۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
سائٹ کی تیاری کا رہنما:
ڈیلیوری سے پہلے فراہم کردہ یوٹیلیٹی کی جامع ضروریات (ٹھنڈا کرنے والے پانی کا بہاؤ/دباؤ، کلین روم کمپریسڈ ہوا، بجلی کی تقسیم، ایگزاسٹ وینٹنگ)۔
ٹرنکی کمیشننگ:
فیلڈ سروس انجینئرز مکینیکل اسمبلی، ویکیوم بیک-آؤٹ، آئن بیم کیلیبریشن، اور ابتدائی پروسیس ریسیپی سائن-آف-سائٹ کو ہینڈل کرتے ہیں۔
آپریٹر کی تربیت:
روٹین مینٹیننس، ویکیوم سیفٹی، سافٹ ویئر آپریشن، اور ٹربل شوٹنگ کو ڈھانپنے والی تربیت پر ساختہ ہاتھ-۔
لائف سائیکل سپورٹ:
تیز رفتار سافٹ ویئر کی خرابیوں کا سراغ لگانا کے لئے دور دراز تشخیصی انٹرفیس؛ اہم لباس کی اشیاء (فلامینٹس، کروسیبلز، شیلڈز) کا علاقائی ذخیرہ 48 گھنٹوں کے اندر اندر بھیج دیا گیا۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
ہم چین میں ایک سرکردہ آئن-بخش سے بننے والی پتلی فلم کے سازوسامان کے مینوفیکچررز اور سپلائرز کے طور پر مشہور ہیں۔ اگر آپ چین میں تیار کردہ اپنی مرضی کے مطابق آئن-اسسٹڈ ایوپوریشن پتلی فلم کا سامان خریدنے جا رہے ہیں، تو ہماری فیکٹری سے قیمت کی فہرست حاصل کرنے میں خوش آمدید۔ قیمت سے متعلق مشاورت کے لیے، ہم سے رابطہ کریں۔
