EBE-V600 سیریز ایک صنعتی-اسکیل فزیکل ویپر ڈیپوزیشن (PVD) پلیٹ فارم ہے جو آپٹیکل پرزوں، سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز اور جدید مواد کی عین پتلی-فلم کوٹنگ کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ ایک اعلی-توانائی، مقناطیسی طور پر مرکوز الیکٹران بیم کو پانی کے اندر موجود ماخذ مواد پر-ٹھنڈا کروسیبلز کی طرف لے کر، نظام حرارتی بوجھ کو چیمبر کی دیواروں سے الگ رکھتے ہوئے بخارات کی تیز رفتاری حاصل کرتا ہے۔
فن تعمیر میں ملٹی-پاکٹ الیکٹران ذرائع اور ڈوئل کوارٹز کرسٹل مائکرو بیلنس (QCM) سینسرز شامل ہیں، جو سٹوچیومیٹرک فلم کی مخلصی اور ملٹی-پرتوں کے ڈائی الیکٹرک یا دھاتی ڈھیروں پر مسلسل موٹائی کنٹرول کو یقینی بناتا ہے۔
تکنیکی وضاحتیں
|
تکنیکی پیرامیٹر |
تفصیلات کی قدر |
|
چیمبر جیومیٹری اور میٹریل |
Φ600 ملی میٹر x 600 ملی میٹر بیلناکار برتن؛ بیرونی کولنگ واٹر جیکٹس کے ساتھ SS304 الیکٹرو پولش انٹیریئر |
|
الٹیمیٹ بیس پریشر |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
سائیکل کا وقت-پمپ کریں۔ |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
الیکٹران گن پاور |
270 ڈگری بیم ڈیفلیکشن کے ساتھ 6 کلو واٹ سے 12 کلو واٹ ملٹی-جیبی ترتیب |
|
کروسیبل ہارتھ کی صلاحیت |
4 سے 6 جیبیں (انٹر چینج ایبل کاپر/ گریفائٹ کروسیبلز، 15cc سے 40cc والیوم فی جیب) |
|
سبسٹریٹ اسٹیج کی گردش |
0 سے 30 RPM متغیر رفتار سیاروں یا براہ راست ڈرائیو |
|
سبسٹریٹ ہیٹنگ رینج |
پی آئی ڈی بند-لوپ ہالوجن لیمپ سرنی کے ذریعے 600 ڈگری تک محیط |
|
موٹائی کی نگرانی |
خودکار شٹر فیڈ بیک کنٹرول کے ساتھ ڈوئل QCM سینسر |
کلیدی خصوصیات
270 ڈگری میگنیٹک ڈیفلیکشن ای-گن:ٹنگسٹن فلیمینٹ کو براہ راست بخارات کے راستوں سے الگ کرتا ہے، مختصر-سرکیٹنگ کو روکتا ہے اور بحالی کے وقفوں کے درمیان آپریشنل زندگی کو بڑھاتا ہے۔
ڈیجیٹل سویپ کنٹرول:قابل پروگرام راسٹر پیٹرن الیکٹران توانائی کو بخارات کی سطح پر یکساں طور پر تقسیم کرتے ہیں، مصر کے جمع ہونے کے دوران پن ہول کی تشکیل اور ترجیحی بخارات کو کم کرتے ہیں۔
ڈیکپلڈ ویکیوم آرکیٹیکچر:کھردری اور اونچی-ویکیوم پمپنگ لائنوں کو مرکزی چیمبر کے فریم سے ساختی طور پر الگ کر دیا جاتا ہے تاکہ فلم کی نشوونما کے دوران مکینیکل وائبریشن ٹرانسفر کو دبایا جا سکے۔
ہارڈ ویئر انٹر لاک سیفٹی میٹرکس:ٹھنڈے پانی کے بہاؤ، ہائی-وولٹیج فیڈ بیک، نیومیٹک پریشر، اور دروازے کی مہر کی سالمیت کی حقیقی-وقت کی PLC نگرانی۔
ویکیوم سسٹم کنفیگریشن
ویکیوم ذیلی-سرکٹ کو تیزی سے سائیکل چلانے اور کم بیس پریشر کے لیے بنایا گیا ہے تاکہ بڑھتی ہوئی فلموں میں گیس کی بقایا شمولیت (H2O, O2, N2) کو کم سے کم کیا جا سکے:
ہائی-ویکیوم پمپ:1200 L/s ٹربو-دوہری-اسٹیج روٹری وین پمپ (یا کلین روم کی تعمیل کے لیے خشک اسکرول پمپ کنفیگریشن) کے ذریعے مالیکیولر پمپ۔
آئسیولیشن والو:نیومیٹک طور پر ہائی-کنڈکٹنس گیٹ والو لوڈ آپریشن کے دوران چیمبر کو الگ کرتا ہے۔
ویکیوم پیمائش:مشترکہ پیرانی اور کولڈ کیتھوڈ آئنائزیشن گیجز جو ماحول سے 10^-6 Pa تک مسلسل رینج کا احاطہ کرتے ہیں۔
فلمی مواد اور سبسٹریٹس
ہم آہنگ بخارات کے ذرائع
آکسائیڈ اور ڈائی الیکٹرک:SiO2، TiO2، Ta2O5، Al2O3، HfO2
خالص دھاتیں:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
سیمی کنڈکٹرز اور کنڈکٹرز:Si, Ge, ITO (انڈیم ٹن آکسائیڈ)
ایپلی کیشنز
آپٹیکل مداخلت کے فلٹرز:تنگ-بینڈ پاس فلٹرز اور لیزر مررز کے لیے ہائی-انڈیکس اور لو-انڈیکس ملٹی-لیئر اسٹیک ڈیپوزیشن۔
سیمی کنڈکٹر ڈیوائس فیبریکیشن:اوہمک رابطہ کی تشکیل، گیٹ آکسائیڈ جمع، اور دھاتی بیج کی تہہ۔
OLED اور ڈسپلے ریسرچ:پتلی دھاتی کیتھوڈ جمع اور کثیر-پرت کے نامیاتی/غیر نامیاتی پاسیویشن ٹیسٹ۔
ہارڈ ریفریکٹری کوٹنگز:مکینیکل اور ایرو اسپیس اجزاء کے لیے حفاظتی لباس-مزاحم پرتیں۔
حسب ضرورت
چیمبر کی توسیع:کلسٹر ٹول کے انضمام کے لیے تیار کردہ برتن کی بلندی یا مستطیل جیومیٹریز۔
ماخذ انضمام:الیکٹران بیم گنوں کے ساتھ مل کر سمورتی تھرمل بخارات کے ذرائع (مزاحمتی کشتیاں)۔
آئن-اسسٹڈ ڈیپوزیشن (IAD):فلم کی کثافت اور تناؤ کی ٹیوننگ کے لیے اینڈ- ہال یا کافمین آئن سورس کا انضمام۔
سافٹ ویئر آرکیٹیکچر:PLC/HMI ریسیپی پروگرامنگ سیمنز S7 یا بیک ہاف آٹومیشن فریم ورک کے مطابق۔
کوالٹی کنٹرول
ماس سپیکٹرو میٹر ہیلیم لیک ٹیسٹنگ:انضمام سے پہلے ہر چیمبر ویلڈمنٹ کو <1 x 10^-9 Pa·m3/s کی مسترد کرنے کی حد تک جانچا جاتا ہے۔
برقی تعمیل:CE/UL رہنما خطوط کے مطابق ہائی-وولٹیج ڈائی الیکٹرک برداشت ٹیسٹ اور گراؤنڈنگ تسلسل کی تصدیق۔
فیکٹری قبولیت ٹیسٹنگ (FAT):72-گھنٹہ مسلسل خشک-ٹیسٹ لاگنگ بیس پریشر کروز، ای بیم سویپ ریپیٹ ایبلٹی، اور انٹر لاک ریسپانس ٹائمز چلائیں۔ یونٹ کے ساتھ بھیجے گئے ٹیسٹ دستاویزات۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
سائٹ کمیشننگ:فیکٹری-مصدقہ انجینئرز مکینیکل الائنمنٹ، ویکیوم لیک کی تصدیق، یوٹیلیٹی کنکشن کی نگرانی، اور ابتدائی کیلیبریشن رنز کا انتظام کرتے ہیں۔
تکنیکی تربیت:3-دن کی سائٹ پر آپریشنل اور مینٹیننس پروٹوکول ٹریننگ جس میں فلیمینٹ کی تبدیلی، ویکیوم والو کی دوبارہ تعمیر، اور ترکیب میں ترمیم شامل ہے۔
دستاویزات کی فراہمی:مکمل تکنیکی بائنڈر بشمول P&ID اسکیمیٹکس، الیکٹریکل وائرنگ ڈایاگرام، PLC بیک اپ فائلز، اور اسپیئر پارٹس کی آئٹمائزیشن۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
س: ای-گن ٹنگسٹن فلیمینٹ کی آپریشنل لائف اسپین کیا ہے، اور اسے کیسے سرو کیا جاتا ہے؟
A: معیاری کام کے دباؤ کے تحت (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
س: نظام آکسائیڈ جمع کرنے کے دوران تھوکنے سے کیسے روکتا ہے؟
A: ڈیجیٹل سویپ جنریٹر الیکٹران توانائی کو آکسائڈ پیلٹ پر حسابی راسٹر میٹرکس میں تقسیم کرتا ہے۔ یہ مقامی حد سے زیادہ گرمی کو ختم کرتا ہے، دھماکہ خیز ابلنے کو روکتا ہے، اور مائیکرو-بندوں کے اخراج کو دباتا ہے۔
سوال: تنصیب کی جگہ پر کون سے یوٹیلیٹی انفراسٹرکچر لازمی ہیں؟
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/منٹ، درجہ حرارت 18 ڈگری سے 25 ڈگری تک۔
الیکٹریکل گرڈ: 3-فیز، 380V ± 10%، 50/60 Hz (یا علاقائی معیارات کے مطابق فیکٹری سے ترتیب دیا گیا)۔
کمپریسڈ ایئر: نیومیٹک والو ایکچیوٹرز کے لئے 0.5 MPa سے 0.7 MPa خشک ہوا۔
سوال: کیا ریموٹ تشخیصی رسائی کنٹرول سسٹم میں ضم ہے؟
A: ہاں۔ ایک الگ تھلگ ایتھرنیٹ پورٹ ہماری انجینئرنگ ٹیم کے ذریعے ریموٹ PLC لاگ بازیافت اور سافٹ ویئر کی خرابیوں کا سراغ لگانے کے لیے محفوظ VPN کنکشن کی حمایت کرتا ہے۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: الیکٹران بیم وانپیکرن پتلی فلم کا سامان، چین الیکٹران بیم وانپیکرن پتلی فلم سازوسامان مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری
