صنعتی-گریڈ آئن-اسسٹڈ ایواپوریشن (IAE) سسٹم ملٹی-پاکٹ الیکٹران-بیم کے بخارات کو ایک توانائی بخش آئن بیم سورس (اینڈ-ہال یا کافمین کنفیگریشن) کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ حقیقی-ٹائم آئن بمباری حرکی رفتار کو کنڈینسنگ اڈیٹمز میں منتقل کرتی ہے، کالم کے دانوں کی نشوونما کو دباتی ہے اور پتلی-فلم پیکنگ کثافت کو بلک مادی اقدار کی طرف لے جاتی ہے۔
دوہری{{0}PLC آٹومیشن کے تحت سیاروں کی گردش کے فکسچر پر بیچ پروسیسنگ کے لیے ترتیب دیا گیا ہے۔ بنیادی ایپلی کیشنز میں ہائی-لیزر-ڈیج-تھریشولڈ (LIDT) آپٹیکل انٹرفیس کوٹنگز، گھنے ڈائی الیکٹرک فلٹر اسٹیک، اور پائیدار حفاظتی اوور کوٹ شامل ہیں۔
تکنیکی وضاحتیں اور عمل کی صلاحیت
|
پیرامیٹر |
تفصیلات اور عمل کی صلاحیت |
|
الٹیمیٹ بیس پریشر |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (clean, dry, empty chamber) |
|
پمپ-ڈاؤن ٹائم |
< 15 min from atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
چیمبر کی تعمیر |
304L / 316L سٹینلیس سٹیل؛ اندرونی الیکٹرو پولشنگ (Ra<= 0.4 um) |
|
الیکٹران بیم ماخذ |
6 kW / 10 kW ملٹی-پاکٹ سویپ گن (4 سے 6 کروسیبلز) |
|
آئن ماخذ کی قسم |
اینڈ-ہال یا کافمین براڈ-بیم؛ توانائی: 50 - 300 eV; موجودہ: 0 - 1000 ایم اے |
|
سبسٹریٹ درجہ حرارت |
300 ڈگری سینٹی گریڈ تک محیط (+/- 2 ڈگری سی پی آئی ڈی بند-لوپ یونیفارمٹی کنٹرول) |
|
موٹائی کی یکسانیت |
<= +/- 1.0% across a 400 mm deposition zone (with planetary rotation) |
|
اندرونی تناؤ کا کنٹرول |
<= +/- 50 MPa (Compressive/Tensile tunable via ion energy adjustment) |
|
ریفریکٹیو انڈیکس ریپیٹیبلٹی |
ڈیلٹا n<= +/- 0.001 verified over 50 consecutive production runs |
|
سسٹم کی دستیابی (اپ ٹائم) |
>مسلسل ملٹی شفٹ پروڈکشن کے تحت=95% آپریشنل دستیابی- |
|
کنٹرول فن تعمیر |
ڈوئل-پی ایل سی انڈسٹریل کنٹرولر جس میں ہارڈویئر سیفٹی انٹرلاک اور ریسیپی مینجمنٹ ہے۔ |
کلیدی خصوصیات
توانائی بخش آئن بمباری:حقیقی-وقت کی رفتار کی منتقلی مائکرووائڈز کو ختم کرتی ہے، نمی کے خلاف ریفریکٹیو انڈیکس کو مستحکم کرتی ہے-حوصلہ افزائی اسپیکٹرل شفٹ۔
ری ایکٹیو گیس بلیڈنگ:O2 یا N2 کا کنٹرول شدہ جزوی دباؤ کا انجیکشن آکسائیڈ/نائٹرائڈ جمع کرنے کے دوران آکسیجن کی کمی کو پورا کرتا ہے، ذیلی-آکسائڈ جذب بینڈ کو ہٹاتا ہے۔
ماڈیولر ماخذ ڈیک:کیسٹ-سٹائل آئن سورس گرڈ کی تبدیلی اور قابل تبادلہ ای-بیم جیبیں چیمبر وینٹ-سے-ویکیوم ریکوری کے وقت کو 2 گھنٹے سے کم کرتی ہیں۔
ویکیوم انٹیگریٹی:میٹل-مہر بند اور Viton-مہر بند ISO/CF فلینجز نیومیٹک گیٹ والوز کے ساتھ جوڑ کر بیچوں میں کراس- آلودگی کو روکتے ہیں۔
ویکیوم سسٹم کنفیگریشن
کھردرا پیکج:روٹری وین یا آئل-مفت ہرمیٹک اسکرول مکینیکل پمپس کی مدد سے جڑیں بنانے والا۔
ہائی-ویکیوم پمپ:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).
دباؤ کی پیمائش:ماحول سے ہائی ویکیوم تک مسلسل لاگنگ کے لیے پیرانی اور گرم-کیتھوڈ آئنائزیشن گیجز کا مجموعہ۔
پراسیس پریشر ریگولیشن:بند-لوپ کیپیسیٹینس مینومیٹر گیس انجیکشن کے دوران خودکار بٹر فلائی تھروٹل والو چلاتا ہے۔
بخارات کا مواد اور سبسٹریٹ مطابقت
بخارات کا مواد:
آکسائڈز:SiO2، Ta2O5، TiO2، Nb2O5، HfO2
فلورائیڈز:MgF2، LaF3
دھاتیں:AU، Ag، Al، Cr، Ti
سبسٹریٹ مواد:
آپٹیکل گلاس (BK7، فیوزڈ سلیکا، کوارٹز)
سیمی کنڈکٹر ویفرز (سلیکون، گیلیم آرسنائیڈ)
کرسٹل (LiNbO3، نیلم، YAG)
فکسچر جیومیٹری:اپنی مرضی کے مطابق سیاروں کی گردش کے پنجرے، گنبد فکسچر، اور فلیٹ-پلیٹ ہولڈرز جو مخصوص بیچ والیوم کے لیے بنائے گئے ہیں۔
ایپلی کیشنز اور تجرباتی کارکردگی کے ثبوت
لیزر مداخلت کے فلٹرز:1064 nm پر مسدود گہرائی > OD6 کے ساتھ ناپید ہونے کے تناسب کی ضرورت والے تنگ بینڈ اور کنارے کے فلٹرز۔
اینٹی-عکاسی (AR) کوٹنگز:ہائی-پاور لیزر ونڈوز اور کیمرہ آپٹکس کے لیے ملٹی-پرت والے براڈ بینڈ اے آر کوٹنگز۔
سامنے کی سطح کے آئینہ:ایرو اسپیس اور دفاعی آلات کے لیے سخت ڈائی الیکٹرک اوور کوٹ کے ذریعے محفوظ کیے جانے والے کم-سکیٹر میٹل ریفلیکٹر۔
سیمی کنڈکٹر ڈائی الیکٹرک پرتیں:درجہ حرارت-حساس ذیلی جگہوں پر ڈائی الیکٹرک فلم کے جمع کو غیر فعال اور موصل کرنا۔
حسب ضرورت
چیمبر کا سائز:اندرونی قطر 700 ملی میٹر سے 1300 ملی میٹر تک۔
ماخذ انضمام:دوہری ای-بیم سیٹ اپ، تھرمل مزاحمتی ذرائع، یا کو-کو جمع کرنے کی ترتیب۔
آٹومیشن کی سطح:نیم-خودکار دستی بوجھ یا مکمل طور پر مربوط روبوٹک سبسٹریٹ ہینڈلنگ لوڈ-لاک کے ساتھ۔
تعمیل:CE، UL/CSA الیکٹریکل پینلز، اور SEMI S2/S8 حفاظتی تعمیل پیکجز۔
کوالٹی کنٹرول اور فیکٹری کی تصدیق
رساو کا پتہ لگانا:تمام چیمبرز اور سیلز کی ماس سپیکٹرو میٹر ہیلیم لیک کی جانچ <1 x 10^-10 Pa*m^3/s تک۔
جہتی معائنہ:اندرونی بڑھتے ہوئے فلینجز اور آپٹیکل پروفائلومیٹری کی سی ایم ایم تصدیق چیمبر کی دیوار کی کھردری کی تصدیق کرتی ہے (را<= 0.4 um).
برن-ٹیسٹنگ میں:72-گھنٹہ مسلسل خشک-ویکیوم پمپس، ہائی وولٹیج پاور سپلائیز، اور PLC انٹر لاک لوپس کا ٹیسٹ چلائیں۔
عمل قبولیت کی جانچ (FAT):ریفرنس کوٹنگ چلتی ہے جو پہلے سے متفقہ معیار کے خلاف جمع کی شرح کے استحکام اور ریفریکٹیو انڈیکس اہداف کی تصدیق کرتی ہے۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
پری-انسٹالیشن گائیڈنس:ٹھنڈے پانی، ایگزاسٹ وینٹیلیشن، برقی بوجھ، اور فرش کے وزن کی گنجائش کو ڈھکنے والی لے آؤٹ ڈرائنگ۔
-سائٹ کمیشننگ پر:مکینیکل الائنمنٹ، لیک چیکس، یوٹیلیٹی ہک اپس، اور مشترکہ SAT ٹیسٹنگ کی فیلڈ انجینئرنگ پر عمل درآمد۔
عمل کی تربیت:آپریٹر اور دیکھ بھال کی تربیت جس میں ریسیپی پروگرامنگ، آئن سورس سروسنگ، اور پمپ ری جنریشن شامل ہیں۔
لائف سائیکل سپورٹ:ریموٹ تشخیصی انٹرفیس انضمام اور مقامی اسپیئر پارٹس انوینٹری مینجمنٹ۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
سوال: آئن کی مدد آپٹیکل طول موج کی تبدیلی کو کیسے روکتی ہے؟
A: انرجیٹک آئن بمباری فلم کے ڈھانچے کو مومینٹم کو ایڈیٹمز میں منتقل کرکے، خوردبین خالی جگہوں کو ختم کرکے کمپیکٹ کرتی ہے۔ یہ ماحول میں نمی کو جذب کرنے سے روکتا ہے، ریفریکٹیو انڈیکس اور ٹرانسمیشن سپیکٹرا کو مستحکم کرتا ہے۔
س: آئن سورس کے لیے مینٹیننس پروٹوکول اور ڈاؤن ٹائم کیا ہے؟
A: گرڈ لیس اینڈ-ہال آئن کے ذرائع کو ہر 200 سے 300 پروسیس گھنٹے میں اندرونی اجزاء کے معائنہ کی ضرورت ہوتی ہے۔ کیسٹ-سٹائل فوری-سواپ ڈیزائن تکنیکی ماہرین کو آئن آپٹکس کو تبدیل کرنے یا سروس کرنے اور 2 گھنٹے کے اندر چیمبر کو ویکیوم میں واپس کرنے کی اجازت دیتا ہے۔
سوال: کیا نظام QCM اور آپٹیکل مانیٹرنگ دونوں کو ضم کر سکتا ہے؟
A: ہاں۔ دوہری-مانیٹرنگ کنفیگریشنز ابتدائی بیس لیئر ریٹ اور آپٹیکل مانیٹرنگ (OMS) کے لیے QCM کا استعمال کرتی ہیں تاکہ درست سہ ماہی کے لیے ٹرانسمیشن/ریفلیکشن ایکسٹریما کو ٹریک کیا جا سکے-۔
سوال: معیاری 900 ملی میٹر چیمبر کے لیے بنیادی افادیت کے تقاضے کیا ہیں؟
A: 3-phase power (380V / 480V, 50/60 Hz), chilled cooling water (~ 15 to 20 deg C at 4 - 6 bar), compressed air (>= 0.6 MPa)، اور 99.999% خالص عمل گیسیں (Ar, O2) 0.2 - 0.3 MPa پر ریگولیٹ ہوتی ہیں۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: آئن-مدد وانپیکرن پتلی فلم کا سامان، چائنا آئن-مدد وانپیکرن پتلی فلم کا سامان بنانے والے، سپلائرز، فیکٹری
