IBAE نظام الیکٹران-بیم یا تھرمل بخارات کو ایک مربوط وسیع-بیم آئن سورس کے ساتھ جوڑتا ہے۔ فلم کی نشوونما کے دوران بیک وقت آئن کی بمباری حرکی توانائی کو کنڈینسنگ اڈیٹمز میں منتقل کرتی ہے، کالمی مائیکرو اسٹرکچر کو ختم کرتی ہے اور قریب-بلک-کثافت پتلی فلموں کو کم سے کم نمی کے ساتھ تیار کرتی ہے-حوصلہ افزائی اسپیکٹرل شفٹ۔
تکنیکی وضاحتیں
|
پیرامیٹر |
تفصیلات |
|
بیس پریشر |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
ورکنگ پریشر |
1.0 x 10^(-1) سے 1.0 x 10^(-2) Pa |
|
آئن ماخذ کی قسم |
گرڈ لیس اینڈ-ہال / کافمین آئن سورس |
|
آئن بیم انرجی |
50 eV سے 1500 eV (بند-لوپ مستحکم) |
|
آئن بیم کرنٹ ڈینسٹی |
0 سے 2.5 mA/cm^2 |
|
بخارات کے ذرائع |
ملٹی-پاکٹ ای-بیم گن (4 x 15 سی سی سے 6 x 40 سی سی) / مزاحمتی کشتیاں |
|
سبسٹریٹ ہولڈر |
300 ڈگری سینٹی گریڈ تک حرارتی نظام کے ساتھ سیاروں کی گردش کی حقیقت |
|
موٹائی کی یکسانیت |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
کنٹرول سسٹم |
سیمنز S7-1500 PLC + انڈسٹریل پی سی (انفیکون ڈیپوزیشن کنٹرولر) |
کلیدی خصوصیات
دوہری-موڈ بمباری:متحرک توانائی کی منتقلی کم سبسٹریٹ درجہ حرارت پر فلموں کو کثافت کرتی ہے، نازک آپٹکس اور پولیمر سبسٹریٹس کی حفاظت کرتی ہے۔
بند-لوپ آئن اسٹیبلائزیشن:انٹیگریٹڈ ماس فلو کنٹرولرز لمبے پروڈکشن کے دوران مسلسل آئن فلو کو برقرار رکھتے ہیں، بیچ کی مستقل مزاجی کو یقینی بناتے ہیں۔
ماڈیولر ویکیوم چیمبر:304L سٹینلیس سٹیل کا ڈھانچہ الیکٹرو-پالش انٹیریئر کے ساتھ (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
خودکار ترتیب:PLC-منظم پمپ-نیچے، جمع، اور وینٹ سائیکل آپریشنل تغیر کو کم کرتے ہیں۔
ویکیوم سسٹم کنفیگریشن
کھردری پمپس:تیل-مفت خشک جڑیں اور روٹری وین پمپ۔
ہائی ویکیوم پمپ:مقناطیسی طور پر لیویٹڈ ٹربومولیکولر پمپ (1600 L/s)۔
گیجز:مجموعہ پیرانی، کولڈ کیتھوڈ، اور باریٹرون کیپیسیٹینس مینو میٹر۔
والونگ:نیومیٹک گیٹ اور ہارڈ ویئر سیفٹی انٹرلاک کے ساتھ زاویہ والوز۔
بخارات کا مواد اور سبسٹریٹ مطابقت
آکسائڈز:SiO2، Ta2O5، TiO2، Nb2O5، Al2O3
فلورائیڈز:MgF2، LaF3
دھاتیں:Au, Ag, Al, Ti, Cr
ذیلی ذخائر:فیوزڈ سلیکا، BK7، سلکان ویفرز، جرمینیئم، زنک سیلینائیڈ (ZnSe)، اور حرارت- مزاحم پولیمائیڈ۔
ایپلی کیشنز
صحت سے متعلق آپٹکس:نارو بینڈ پاس فلٹرز اور DWDM کوٹنگز کو مستحکم مرکز طول موج کی ضرورت ہوتی ہے۔
لیزر آپٹکس:ہائی-نقصان-تھریش ہولڈ ریفلیکٹرز اور اینٹی-ریفلیکشن کوٹنگز۔
سیمی کنڈکٹر اور فوٹوونکس:ڈائی الیکٹرک حفاظتی پرتیں، غیر فعال ہونا، اور آپٹیکل ویو گائیڈز۔
شمسی توانائی:شفاف conductive آکسائڈ (TCO) انٹرفیس ترمیم.
حسب ضرورت
چیمبر کا سائز:توسیع پذیر قطر 600 ملی میٹر سے 1200 ملی میٹر تک۔
ماخذ لے آؤٹ:فی پلیٹ فارم پر تین ای-بیم گنز اور متعدد تھرمل ذرائع۔
سیٹو میٹرولوجی میں{{0}:براڈ بینڈ آپٹیکل مانیٹرنگ (BOM) یا کوارٹج کرسٹل مائیکرو بیلنس (QCM) انضمام۔
آٹومیشن:روبوٹک سبسٹریٹ لوڈنگ انٹرفیس SEMI معیارات کے مطابق ہیں۔
کوالٹی کنٹرول
رساو کا پتہ لگانا:ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر ٹیسٹنگ فی چیمبر (حساسیت<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
اجزاء سورسنگ:ٹائر-1 صنعتی برانڈز (انفیکون، ایم کے ایس، ایڈورڈز، سیمنز)۔
فیکٹری قبولیت (FAT):72 گھنٹے مسلسل ڈرائی رن اور تصدیقی کوٹنگ جس کی پیمائش ریفریکٹیو انڈیکس اور ڈسپیچ سے پہلے یکسانیت ہے۔
تنصیب اور تکنیکی معاونت
دستاویزی:مکمل انگریزی پیکج بشمول الیکٹریکل اسکیمیٹکس، P&ID ڈایاگرام، اور PLC سورس کوڈز۔
فیلڈ سروسز:ایپلی کیشن انجینئرز کے ذریعہ ٹرنکی کی تنصیب، ویکیوم کیلیبریشن، اور ریسیپی ٹیوننگ۔
ریموٹ تشخیص:سافٹ ویئر اور پروسیس ٹربل شوٹنگ کے لیے محفوظ VPN ماڈیول۔
اکثر پوچھے گئے سوالات
سوال: آئن اسسٹنس آکسائیڈ ریفریکٹیو انڈیکس کو کیسے بدلتا ہے؟
A: توانائی بخش آئن بمباری پھنسے ہوئے بقایا گیسوں کو باہر نکالتی ہے اور مائیکرو اسٹرکچر کو کثافت کرتی ہے، Ta2O5 اور TiO2 جیسی فلموں کے ریفریکٹیو انڈیکس کو بلک اقدار کے قریب منتقل کرتی ہے۔
سوال: آئن ماخذ کے لیے عام دیکھ بھال کا وقفہ کیا ہے؟
A: دیکھ بھال کے وقفے 150 سے 300 پروسیسنگ گھنٹے تک ہوتے ہیں، یہ عمل گیسوں اور آپریٹنگ پاور کثافت پر منحصر ہے۔
سوال: کیا یہ نظام ری ایکٹیو گیس کے عمل کو منظم کر سکتا ہے؟
A: ہاں۔ آزاد ماس فلو کنٹرولرز ری ایکٹیو گیسز (O2, N2) کو براہ راست آئن سورس اور چیمبر زونز میں داخل کرتے ہیں، جو حفاظتی دباؤ کے سوئچ کے ساتھ جڑے ہوئے ہیں۔
ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: آئن بیم کی مدد سے بخارات کا سامان، چین آئن بیم کی مدد سے بخارات کے سازوسامان کے مینوفیکچررز، سپلائرز، فیکٹری
