کثیر-آرک آئن جمع کرنے کا سامان

کثیر-آرک آئن جمع کرنے کا سامان

تفصیلات
صنعتی ملٹی-آرک آئن ڈپوزیشن سسٹم ہائی-موجودہ، کم-وولٹیج کیتھوڈک آرک بخارات کے ذریعے گھنے، اعلی-آسنس پتلی فلمیں تیار کرتا ہے۔ ٹھوس ہدف والے مواد (کیتھوڈس) کو رد عمل والے گیس کے ماحول (جیسے N2، O2، یا C2H2) میں سٹوچیومیٹرک کمپاؤنڈ کوٹنگز کی ترکیب کے لیے بخارات بنایا جاتا ہے۔ 80% سے زیادہ آئنائزیشن کی اعلی شرحوں کے لیے انجنیئر کیا گیا، یہ سامان غیر معمولی فلم-سے-سبسٹریٹ بانڈنگ کی طاقت پیدا کرتا ہے جو انتہائی میکانکی بوجھ والے ماحول کے لیے موزوں ہے۔
مصنوعات کی درجہ بندی
ملٹی-آرک آئن تھن فلم کا سامان
 
انکوائری بھیجنے
تصریح
تکنیکی معیار

صنعتی ملٹی-آرک آئن ڈپوزیشن سسٹم ہائی-موجودہ، کم-وولٹیج کیتھوڈک آرک بخارات کے ذریعے گھنے، اعلی-آسنس پتلی فلمیں تیار کرتا ہے۔ ٹھوس ہدف والے مواد (کیتھوڈس) کو رد عمل والے گیس کے ماحول (جیسے N2، O2، یا C2H2) میں سٹوچیومیٹرک کمپاؤنڈ کوٹنگز کی ترکیب کے لیے بخارات بنایا جاتا ہے۔ 80% سے زیادہ آئنائزیشن کی اعلی شرحوں کے لیے انجنیئر کیا گیا، یہ سامان غیر معمولی فلم-سے-سبسٹریٹ بانڈنگ کی طاقت پیدا کرتا ہے جو انتہائی میکانکی بوجھ والے ماحول کے لیے موزوں ہے۔

 

تکنیکی وضاحتیں

 

پیرامیٹر

تفصیلات

چیمبر کے طول و عرض

Phi 800 x 1000 mm سے Phi 1500 x 2200 mm تک حسب ضرورت ترتیب

چیمبر کا مواد

SUS304 / SUS316L سٹینلیس سٹیل، ڈبل-وال واٹر-ٹھنڈا جیکٹ

حتمی ویکیوم پریشر

<= 5.0 x 10^-4 Pa

پمپ-ڈاؤن ٹائم

ماحول 6.0 x 10^-3 Pa in<= 15 minutes (clean, empty chamber)

آرک پاور سپلائی

ڈی سی اور پلسڈ آرک پاور یونٹس (0-200A سایڈست، لہر<= 1%)

بائیس پاور سپلائی

ہائی-فریکوئنسی پلسڈ بائیس (-1000V سے 0V تک ایڈجسٹ)

بخارات کے ذرائع

4 سے 18 کیتھوڈک آرک ذرائع (فلٹر ایبل یا معیاری مقناطیسی اسٹیئرنگ)

سبسٹریٹ گردش

مقناطیسی سیال فیڈ تھرو سے چلنے والی سیاروں کی کثیر- محور کی گردش

 

کلیدی خصوصیات


مقناطیسی فلٹرڈ آرک ٹیکنالوجی:مربوط مقناطیسی کنڈلی میکرو-ذرات اور بوندوں کو سبسٹریٹ سٹریم سے دور ہٹاتے ہیں، جس سے عین مطابق آپٹکس اور کٹنگ ٹولز کے لیے انتہائی-ہموار قطرہ-مفت سطحیں پیدا ہوتی ہیں۔


بند-لوپ گیس فلو کنٹرول:MKS ماس فلو کنٹرولرز رد عمل کے جمع ہونے کے مراحل کے دوران +/- 0.1 sccm استحکام کی حد کے اندر ری ایکٹیو گیس کے جزوی دباؤ کو کنٹرول کرتے ہیں۔


سبسٹریٹ درجہ حرارت کا انتظام:بیک سائیڈ آرگن گیس کولنگ کے ساتھ مل کر قابل پروگرام ریڈیئنٹ ہیٹر بینک سبسٹریٹ تھرمل بجٹ کو 150C اور 600C کے درمیان برقرار رکھتے ہیں۔


خودکار عمل کی ترکیبیں:PLC-بیسڈ کنٹرول آرکیٹیکچر جس میں آئن کلیننگ، گریڈینٹ انٹرلیئر اینچنگ سے لے کر ٹرمینل فنکشنل کوٹنگ تک ملٹی-اسٹیپ ڈیپوزیشن پروٹوکولز کو انجام دیا جاتا ہے۔

 

ویکیوم سسٹم کنفیگریشن


کھردری پمپ:روٹس بنانے والا اور روٹری وین مکینیکل پمپ کا امتزاج (لیبولڈ / ایڈورڈز بیس لائن)۔


ہائی ویکیوم پمپ:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).


تشخیص اور پائپنگ:نیومیٹک سٹینلیس-اسٹیل ویکیوم گیٹ والوز، نیومیٹک اینگل والوز، اور ایلسٹومر-سیل بند KF/ISO فلینجز لیک-ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹری کے ذریعے ٹیسٹ کیا گیا (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).


دباؤ کی نگرانی:مشترکہ پیرانی اور کولڈ کیتھوڈ آئنائزیشن گیجز انتہائی-اعلی ویکیوم رینجز کو پورے ماحول میں حقیقی وقت کی رائے فراہم کرتے ہیں۔

 

بخارات کا مواد اور سبسٹریٹ مطابقت


ہدفی مواد:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).


سبسٹریٹ مواد:

  • سیمنٹڈ کاربائیڈز (WC-Co)
  • ہائی-اسپیڈ اسٹیلز (HSS)
  • الائے اسٹیلز (SKD11, 316L, 4140)
  • ٹائٹینیم مرکبات (Ti-6Al-4V)
  • انجینئرنگ سیرامکس اور حرارت-مزاحم سپراللویز

 

ایپلی کیشنز


کاٹنے اور بنانے کے اوزار:TiAlN، AlCrN، اور TiCN کوٹنگز کو اینڈ ملز، انسرٹس، ہوبس، اور سٹیمپنگ پر جمع کرنا سطح کی سختی کو 3200 HV تک بڑھاتا ہے اور کھرچنے والے لباس کے خلاف مزاحمت کرتا ہے۔


آٹوموٹو اجزاء:پسٹن رِنگز، فیول انجیکشن پنوں، اور کیمشافٹ پر ہارڈ کاربن (DLC) اور CrN جمع کرنا خشک چلنے والی حالتوں میں رگڑ کے گتانک کو 0.1 سے کم کرنے کے لیے۔


طبی امپلانٹس:کوبالٹ-کرومیم اور ٹائٹینیم کے گھٹنے اور کولہے کے جوڑوں پر TiN اور ZrN بائیو کمپیٹیبل ڈفیوژن کوٹنگز، دھاتی آئن لیچنگ کو کم سے کم کرتے ہیں اور ملبے کو تیار کرتے ہیں۔


ایرو اسپیس ہارڈ ویئر:ٹربائن بلیڈز کے لیے آکسیڈیشن-مزاحم بیریئر کوٹنگز اور بلند تھرمل دہلیز پر کام کرنے والی فاسٹنر اسمبلیز۔

 

حسب ضرورت


چیمبر جیومیٹری:عمودی گڑھے-قسم، افقی سامنے-لوڈنگ، یا ڈبل-دروازے کا پاس-موجودہ دکان-منزل کی ترتیب کے مطابق ترتیب کے ذریعے۔


ماخذ انضمام:ہائبرڈ کنفیگریشنز کیتھوڈک آرک ذرائع کو ایک ہی چیمبر کے اندر غیر متوازن میگنیٹران سپٹرنگ (Ums) کیتھوڈس کے ساتھ ملاتی ہیں۔


جگنگ اور فکسچر:مخصوص جزو جیومیٹریز کے لیے CAD/FEM سمولیشن کے ذریعے انجنیئر کردہ سیارہ یا ڈبل-روٹیشن ٹولنگ فکسچر (مثلاً، طویل اخراج ڈیز یا پیچیدہ جراحی پیچ)۔

 

کوالٹی کنٹرول اور مینوفیکچرنگ کی تعمیل


کوالٹی مینجمنٹ کے معیارات:ISO 9001:2015 کوالٹی مینجمنٹ اور ISO 14001 ماحولیاتی انتظام کے نظام کے تحت ڈیزائن، من گھڑت، اور تجربہ کیا گیا۔


ایرو اسپیس اور میڈیکل ٹریس ایبلٹی:NADCAP AC7102 (Heat Treating/Surface Enhancement) کے تقاضوں کے ساتھ مکمل طور پر منسلک پروسیس کنٹرولز اور دستاویزی پروٹوکول درخواست پر۔


لیک سالمیت:ہر ویکیوم برتن اسمبلی سائن-آف سے پہلے ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر لیک ٹیسٹنگ سے گزرتا ہے۔


برقی حفاظت:اعلی-وولٹیج کی موصلیت کی مزاحمت کی جانچ اور گراؤنڈنگ تسلسل کی جانچ جو CE / IEC کے معیارات کے مطابق ہے۔


رن-ٹیسٹنگ:72-گھنٹہ مسلسل خشک-مکینیکل روٹیشن ڈرائیوز، واٹر کولنگ فلو سوئچز، اور PLC انٹر لاک سسٹمز کی برداشت کی جانچ چلائیں۔


دستاویزات کی فراہمی:میٹریل مل ٹیسٹ سرٹیفکیٹ (MTC)، ویکیوم لیک ٹیسٹ سرٹیفکیٹ، الیکٹریکل اسکیمیٹک پیکجز، اور NIST-ٹریس ایبل سینسر کیلیبریشن رپورٹس۔

 

تنصیب اور تکنیکی معاونت


سائٹ کی تیاری کے رہنما خطوط:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h)، محیط درجہ حرارت کی حدود، ایگزاسٹ وینٹیلیشن، اور برقی طاقت کے قطرے (3 فیز، 380V/480V، 50/60Hz)۔


کمیشننگ خدمات:سائٹ پر مکینیکل پوزیشننگ، ویکیوم پائپنگ انٹیگریشن، الیکٹریکل ہک اپ، اور بیس لائن ریسیپی آپٹیمائزیشن جو رہائشی سینئر فیلڈ سروس انجینئرز کے ذریعہ انجام دی گئی ہے۔


آپریٹر کی تربیت:5-دن کی گہری آن سائٹ ٹریننگ جس میں روٹین مینٹیننس، ویکیوم ٹربل شوٹنگ، ٹارگٹ ریپلیسمنٹ پروٹوکول، اور مخصوص فلمی ڈھانچے کے لیے پیرامیٹر ٹیوننگ شامل ہیں۔


اسپیئر پارٹس کی انوینٹری:لباس کے اہم اجزاء (کیتھوڈ انسولیٹر، ڈارک اسپیس شیلڈز، ڈائنامک سیل، اور فلیمینٹ اری) 48 گھنٹوں کے اندر اندر بھیجنے کے لیے علاقائی طور پر ذخیرہ کیے جاتے ہیں۔

 

اکثر پوچھے گئے سوالات

 

سوال: پیچیدہ تھری ڈی سبسٹریٹس میں فلم کی موٹائی کی یکسانیت کیسے برقرار رہتی ہے؟

A: یکسانیت کو کمپیوٹرائزڈ مقناطیسی اسٹیئرنگ کنڈلی کے ساتھ مل کر ملٹی-محور سیاروں کی گردش کے فکسچر کے ذریعے حاصل کیا جاتا ہے جو متحرک طور پر سبسٹریٹ زون میں آئن پلازما کثافت کی تقسیم کو ایڈجسٹ کرتے ہیں، موٹائی کے فرق کو +/- 5% کے اندر برقرار رکھتے ہیں۔

سوال: کیا چیز لیپت سطح پر میکرو-بندوں کو بننے سے روکتی ہے؟

A: میکرو-بندوں کی نسل کو فلٹرڈ کیتھوڈک آرک (FCA) ٹیکنالوجی کے ذریعے دبایا جاتا ہے جس میں مڑے ہوئے مقناطیسی ڈکٹ فلٹرز کا استعمال کیا جاتا ہے جو ٹھوس ذرات کو پھنساتے ہیں جبکہ آئنائزڈ بخارات کو سبسٹریٹ تک پہنچنے دیتے ہیں۔

س: سائٹ پر کس یوٹیلیٹی انفراسٹرکچر کی ضرورت ہے؟

A: Facilities require a closed-loop chilled water system (capacity >= 80 kW، inlet درجہ حرارت 18 سے 22C)، کمپریسڈ ایئر سپلائی (نیومیٹک والوز کے لیے 0.6 سے 0.8 MPa)، ڈرائی نائٹروجن صاف کرنے والی لائنیں، اور وقف شدہ برقی پاور ڈسٹری بیوشن سسٹم لوڈ کی ضروریات کے مطابق۔

سوال: کیا یہ سسٹم ملٹی لیئر یا گریڈینٹ کوٹنگز جمع کر سکتا ہے؟

A: ہاں۔ PLC فن تعمیر متعدد ٹارگٹ میٹریلز کی ترتیب وار ایکٹیویشن اور نینو-پرتوں والے ڈھانچے یا فنکشنل گریڈینٹ انٹرلیئرز کو جمع کرنے کے لیے ری ایکٹیو گیس کے بہاؤ کے حقیقی وقت کی ایڈجسٹمنٹ کی اجازت دیتا ہے۔

 

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: ملٹی-آرک آئن جمع کرنے کا سامان، چین ملٹی-آرک آئن جمع کرنے کا سامان بنانے والے، سپلائرز، فیکٹری

انکوائری بھیجنے
ہم سے رابطہ کریں۔اگر آپ کے پاس کوئی سوال ہے

آپ ہم سے فون، ای میل یا نیچے دیے گئے آن لائن فارم کے ذریعے رابطہ کر سکتے ہیں۔ ہمارا ماہر جلد ہی آپ سے رابطہ کرے گا۔

ابھی رابطہ کریں!