آئن-اسسٹڈ ویکیوم ایواپوریشن کا سامان

آئن-اسسٹڈ ویکیوم ایوپوریشن سسٹم اعلی-ویکیوم تھرمل یا الیکٹران-بیم ایوپوریشن ذرائع کو کاف مین-قسم یا اینڈ-ہال آئن سورس کے ساتھ مربوط کرتا ہے۔ جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے دوران بڑھتی ہوئی فلم کو آئنائزڈ گیس (Ar یا O2) کے ساتھ بمباری کرکے، نظام حرکی توانائی کو اڈیٹمز میں منتقل کرتا ہے، کالمی مائیکرو اسٹرکچر کو دباتا ہے اور آپٹیکل اور ڈائی الیکٹرک پتلی فلموں میں نمی جذب کو روکتا ہے۔

کلین روم کے انضمام اور مسلسل ملٹی-شفٹ پروڈکشن کے لیے بنایا گیا، سسٹم R&D فٹ پرنٹس (300 ملی میٹر چیمبرز) سے ہائی-تھرو پٹ انڈسٹریل لائنوں (900 ملی میٹر ڈوئل-دروازے اور سیاروں کی گردش کی ترتیب) تک پیمانہ بناتا ہے۔

قریب-بلک کثافت:بلند ایڈیٹم سطح کی نقل و حرکت نظر آنے والی فلم کی پورسٹی کو ختم کرتی ہے اور میکانیکی سختی کو زیادہ سے زیادہ کرتی ہے۔

اندرونی تناؤ ٹننگ:سایڈست آئن بیم انرجی مکینیکل تناؤ کو بے اثر کرتی ہے، موٹے ڈائی الیکٹرک اسٹیک پر ڈیلامینیشن کو روکتی ہے۔

کم-تھرمل-بجٹ پروسیسنگ:مومینٹم-پر مبنی کثافت درجہ حرارت پر اعلیٰ کارکردگی کوٹنگ-حساس پولیمر سبسٹریٹس بغیر تھرمل ڈسٹورشن کے اجازت دیتی ہے۔

نسخہ آٹومیشن:PLC-کنٹرولڈ ویکیوم انٹرلاک اور پمپ-ڈاؤن سیکوینسنگ کا انتظام ایک صنعتی ٹچ-ڈیٹا لاگنگ کے ساتھ پینل HMI کے ذریعے ہوتا ہے۔

کھردرا مرحلہ:دوہری-اسٹیج روٹری وین مکینیکل پمپ جو کہ روٹس بلوئر (150 L/s رفتار) کے ساتھ تیز کراس اوور کے لیے۔

ہائی ویکیوم سٹیج:ہائیڈرو کاربن کی بیک اسٹریمنگ کو ختم کرنے کے لیے مقناطیسی طور پر لیویٹڈ ٹربومولیکولر پمپ (1600 L/s) کو تیل-مفت خشک اسکرول پمپ کی مدد حاصل ہے۔

کریوجینک آپشن:کم پانی کے لیے مائع نائٹروجن کولڈ ٹریپ اور کریوپمپ انضمام-بخار جزوی دباؤ۔

ویکیوم پیمائش:کراس-کیلیبریٹڈ پیرانی اور کولڈ کیتھوڈ گیجز فضا سے 10^-7 Pa تک حقیقی-وقت کے تاثرات کے لیے۔

بخارات کا مواد
آکسائڈز:SiO2، TiO2، Ta2O5، Nb2O5، Al2O3

فلورائیڈز:MgF2، LaF3

دھاتیں:Al, Ag, Au, Ti, Cr

سبسٹریٹ مطابقت
آپٹیکل سبسٹریٹس:فیوزڈ سلیکا، N-BK7، سلکان، جرمینیم، اور زنک سیلینائیڈ ونڈوز۔

سیمی کنڈکٹر ویفرز:100 ملی میٹر سے 300 ملی میٹر سلکان اور کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر ویفرز۔

پولیمر:PET، PI (Polyimide)، اور PMMA فلمیں کم-درجہ حرارت کے IAD پیرامیٹرز کا استعمال کرتی ہیں۔

صحت سے متعلق آپٹکس:اینٹی-ریفلیکٹیو (AR) کوٹنگز، لیزر آئینے، اور تنگ بینڈ پاس فلٹرز جو نمی کے خلاف مزاحمت کی ضرورت ہوتی ہے۔

مائیکرو الیکٹرانکس:سیمی کنڈکٹر پیکیجنگ میں میٹل گیٹ الیکٹروڈ، آسنجن پرتیں، اور گزرنے والی رکاوٹیں۔

آپٹو الیکٹرانکس:شفاف کوندکٹو آکسائیڈ (TCO) رابطے اور OLED نمی-بیریئر انکیپسولیشن پرتیں۔

چیمبر جیومیٹری:مستطیل یا بیلناکار تعمیرات کلین روم کی دیوار کی رکاوٹوں کے مطابق بنائی گئی ہیں۔

کثیر-ذریعہ انٹیگریشن:Co-تین ای-بیم گنز اور چار تھرمل بوٹس تک کے لیے وانپیکرن سیٹ اپ۔

Situ میٹرولوجی پورٹس میں{{0}:سپیکٹروسکوپک بیضوی میٹر یا آپٹیکل مانیٹرنگ سسٹم کے لیے فلینج انٹیگریشن پورٹس۔

آٹومیشن کی سطح:نیم-خودکار تحقیق بنتی ہے یا مکمل طور پر خودکار کیسٹ-سے-کیسٹ ویفر ہینڈلنگ۔

رساو کا پتہ لگانا:<1 x 10^-9 Pa*m^3/s کی سخت رد کرنے کی حد کے ساتھ ہر چیمبر پر ہیلیم ماس سپیکٹرو میٹر ٹیسٹنگ۔

صفائی کی تصدیق:بقایا گیس تجزیہ کار (RGA) اسکین نے صفر نامیاتی ہائیڈرو کاربن کی توثیق کرنے کے لیے ترسیل سے پہلے-کی کارکردگی کا مظاہرہ کیا۔

سسٹم برن-میں:مکینیکل ڈرائیوز، کولنگ مینی فولڈز، اور الیکٹریکل انٹرلاکس کا 72-گھنٹہ مسلسل ڈرائی رن ٹیسٹ۔

دستاویزی:میٹریل مل ٹیسٹ سرٹیفکیٹ (MTRs)، الیکٹریکل اسکیمیٹکس، اور فیکٹری ایکسیپٹنس ٹیسٹ (FAT) رپورٹس۔

سائٹ کی تیاری:Detailed facility guide covering floor loading, chilled water (>= 5 m^3/h)، صاف خشک ہوا (CDA)، اور اخراج۔

کمیشننگ:مکینیکل لیولنگ، یوٹیلیٹی ہک اپ، ویکیوم کیلیبریشن، اور ریسیپی سائن-آف کے لیے فیلڈ سروس کی تعیناتی۔

آپریٹر کی تربیت:5-دن کا آن سائٹ پروگرام جس میں آپریشن، احتیاطی دیکھ بھال، ٹربل شوٹنگ، اور سیفٹی انٹرلاک شامل ہیں۔

اسپیئر پارٹس:اہم لباس اشیاء (فلامینٹس، QCM کرسٹل، سیل، ٹربومولیکولر بیرنگ) علاقائی طور پر ذخیرہ کیے گئے ہیں۔